XpressKleen™ G2过滤器&XpressKleen™ G2 KC总成(5nm) product photo Primary L

XpressKleen™ G2 Filters & XpressKleen™ G2 KC Assemblies ( 5 nm)

XpressKleen G2 XP 5nm过滤器实现了微孔PTFE膜开发的巨大进步,可应对14nm以下生产的严重污染控制挑战。颇尔公司的材料科学家和工程师团队发明了与当前设计不同的新型过滤器形态,其中采用了新开发的专有PTFE膜生产技术。 针对5nm以上关键尺寸颗粒,革命性的设计实现对5nm以上关键尺寸颗粒的最佳控制,并且采用新的设备清洁度和纯度标准,可保证低于500ppt的单长度过滤器的总金属离子可溶出物1。专有的先进清洗方法使过滤器产生极低水平的有机物、NVR和暂时性表面颗粒。 XpressKleen XP 5nm过滤器的每个方面,包括PTFE树脂到最终包装的设计、控制和生产都致力于提供无与伦比的高性能,实现稳定和可重复的7nm以下颗粒滤除的新标准。 其低压差和5nm滤除精度实现独特结合,使得过滤器适用于从供应点(POS)到工艺点(POP)的用途,可用于散料供应、循环批次过滤和单次晶片应用。作为污染控制系统的一个集成部分,XpressKleen XP 5nm过滤器可实现10nm及以上制造工艺需要的颗粒和纯度缺陷水平。 不去湿XpressKleen G2过滤器经验证可用于例如SPM和H3PO4等侵蚀性高温清洗化学物质、NH4OH、HCl、H2SO4和H2O2等浓化学品、IPA和其它溶剂、高ppm DIO3以及SC1和SC2等水性化学物质。 • 低溶出<500ppt 总共19种元素 <0.1ppb(Ni)、<0.2ppb(Cu) • >20nm颗粒冲洗控制(UPW) • TOC控制 • 使用超纯水包装100%预润湿发货 • 大流量 • 可下游通气的G2 KC总成 • 滤芯一体式密封在滤壳中的一次性过滤器装置 • 密封总成的操作更安全、更换更快 • 100%通过完整性测试 1 KC总成的19种元素总金属浓度:Al、Ba、B、K、Na、Fe、Li、Mg、Mn、Pb、Sn、Ti、Zn、Ni、Cu、Cr、Co、Ca、Ag。详情请咨询工厂。


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描述

XpressKleen G2 XP 5nm过滤器实现了微孔PTFE膜开发的巨大进步,可应对14nm以下生产的严重污染控制挑战。颇尔公司的材料科学家和工程师团队发明了与当前设计不同的新型过滤器形态,其中采用了新开发的专有PTFE膜生产技术。 针对5nm以上关键尺寸颗粒,革命性的设计实现对5nm以上关键尺寸颗粒的最佳控制,并且采用新的设备清洁度和纯度标准,可保证低于500ppt的单长度过滤器的总金属离子可溶出物1。专有的先进清洗方法使过滤器产生极低水平的有机物、NVR和暂时性表面颗粒。 XpressKleen XP 5nm过滤器的每个方面,包括PTFE树脂到最终包装的设计、控制和生产都致力于提供无与伦比的高性能,实现稳定和可重复的7nm以下颗粒滤除的新标准。 其低压差和5nm滤除精度实现独特结合,使得过滤器适用于从供应点(POS)到工艺点(POP)的用途,可用于散料供应、循环批次过滤和单次晶片应用。作为污染控制系统的一个集成部分,XpressKleen XP 5nm过滤器可实现10nm及以上制造工艺需要的颗粒和纯度缺陷水平。 不去湿XpressKleen G2过滤器经验证可用于例如SPM和H3PO4等侵蚀性高温清洗化学物质、NH4OH、HCl、H2SO4和H2O2等浓化学品、IPA和其它溶剂、高ppm DIO3以及SC1和SC2等水性化学物质。 • 低溶出<500ppt 总共19种元素 <0.1ppb(Ni)、<0.2ppb(Cu) • >20nm颗粒冲洗控制(UPW) • TOC控制 • 使用超纯水包装100%预润湿发货 • 大流量 • 可下游通气的G2 KC总成 • 滤芯一体式密封在滤壳中的一次性过滤器装置 • 密封总成的操作更安全、更换更快 • 100%通过完整性测试 1 KC总成的19种元素总金属浓度:Al、Ba、B、K、Na、Fe、Li、Mg、Mn、Pb、Sn、Ti、Zn、Ni、Cu、Cr、Co、Ca、Ag。详情请咨询工厂。

规格

构成材质2

 

部件

材料

滤材

表面改性PTFE

滤膜背衬

PFA

内芯、网罩和端盖

PFA

壳体

PFA

O型圈选项3

包封FEP的氟橡胶

 

*2全氟聚合物材料,不使用PFOA。
3 其它选项请咨询工厂。


滤除精度和使用条件

Kleen-Change® KC

 

滤除精度

5nm

滤膜代码

XP5

过滤面积

2.8m2

流量

直列式、L型流、T型流

金属可溶出物4

<500ppt4

TOC

<0.5ppb5

颗粒冲洗控制

<10pc/ml> 20nm5

电阻率

10Lpm冲洗时,30分钟内为18MΩ

最高工作温度

185°C/365°F

最大工作压力

25°C/77°F时为0.49MPaG/71psig
60°C/140°F时为0.39MPaG/56.6psig
90°C/194°F时为0.34MPaG/49.3psig
120°C/248°F时为0.20MPaG/29.0psig
150°C/302°F时为0.15MPaG/21.8psig
185°C/365°F时为0.12MPaG/17.4psig

 

滤芯

 

滤除精度

5nm

滤膜代码

XP5

过滤面积

ABFG1

2.8m2

金属可溶出物4

<1ppb4

TOC

<0.5ppb5

颗粒冲洗控制

<10pc/ml> 20nm5

电阻率

10Lpm冲洗时,30分钟内为18MΩ

最高工作温度

185°C/365°F

最大压差

50°C/120°F时为0.59MPaG/85.6psig

 

4 19种元素,测试条件请咨询工厂
5 以10Lpm进行40分钟UPW冲洗后

性能

典型流动特征-1厘泊流体、20℃

G2滤芯

G2 cartridge

1" KC(直列式、T型流)

1 inch KC (In-line, T-flow)

3/4" KC(L型流、T型流)

3/4 inch KC (L-flow, T-flow)

3/4" KC(直列式)

3/4 inch KC (In-line)

类型

总成

订购信息

XpressKleen G2 KC总成

LDF [1][2] 1XP [3][4] E [5]

表1

 

代码

下游通气

G

N/A

V

可用

 

表2

 

代码

流量

T

T型流

N

直列式

L

L型流

 

表3

 

代码

滤除精度

5

5nm

 

表4

 

代码

进口/出口

通气口/排液口

类型

头端

滤筒端

12

3⁄4英寸公头

1⁄2英寸公头

1⁄2英寸公头

T型流/L型流

12

3⁄4英寸公头

1⁄2英寸公头

1⁄2英寸母头

DV型

12

3⁄4英寸公头

3⁄8英寸公头

3⁄8英寸公头

直列式

124

3⁄4英寸公头

1⁄4英寸公头

1⁄4英寸公头

直列式

128

3⁄4英寸公头

1⁄2英寸公头

1⁄2英寸公头

DV型

13

3⁄4英寸公头

1⁄2英寸母头

1⁄2英寸母头

T型流

16

1英寸公头

1⁄2英寸公头

1⁄2英寸公头

T型流

16

1英寸公头

1⁄2英寸公头

1⁄2英寸母头

DV型

16

1英寸公头

3⁄8英寸公头

3⁄8英寸公头

直列式

164

1英寸公头

1⁄4英寸公头

1⁄4英寸公头

直列式

168

1英寸公头

1⁄2英寸公头

1⁄2英寸公头

DV型

17

1英寸母头

1⁄2英寸母头

1⁄2英寸母头

直列式

 

DV : 下游通气

表56

 

代码

接头

1

20系列Flowell7

2

Super Pillar型8

51

喇叭口型

6

FinalLock9

71

Super Pillar 300P系列

72

Super Pillar 300P系列L型

8

60系列Flowell

9

11CR系列Flowell

 

6一次性囊式过滤器并非可使用所有选项。(具体选项请参考代码。)请联系您当地的颇尔代表了解选项可用性。
7 Flowell是Flowell公司的商标。
8 Super Pillar是日本Pillar包装公司的商标。
9 FinalLock是Kurabo Industries有限公司的商标。

XpressKleen G2过滤器10

ABFG [1] XP [2] 3E [3]

表1

 

代码

长度(标称):

英寸

mm

1

10

225

2

20

468

 

表2

 

代码

滤除精度

5

5nm

 

表3

 

代码

O型圈材料

H1

包封FEP的氟橡胶

H11

Kalrez11

H35

Perfrez12

 

10 滤芯发货前都进行预润湿(标准作业)。
11Kalrez是DuPont高性能弹性体公司的商标。
12 Perfrez是Applied Seals North America公司的商标。

检查

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