描述
ChamberKleen扩散器理想用于短时间内流入大量气体的载量锁定接口或其它真空腔的排气应用中。
特点
• 减少处理腔排气过程中的湍流
• 可提供高压差
• 316L不锈钢外壳
• 可过滤各种气体
• 洁净室生产和包装
规格
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材料 |
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颗粒滤除额定值 |
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连接 |
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最大排气循环 |
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工作条件 |
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设计流量 |
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性能
压降与气体流量
压力和腔灌装时间
类型
过滤胶囊
用途
过滤, 液体
应用
工艺气体过滤
附加信息
尺寸
订购信息
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部件编号 |
描述 |
标称直径(D) |
标称长度(L) |
CK4000I40H |
NW40 ISO真空法兰 |
55/2.16 |
49/1.93 |
CK4000I50H |
NW50 ISO真空法兰 |
75/2.95 |
49/1.93 |
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分类信息
半导体
检查
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