描述
Ultramet-L® 6600系列过滤器总成是一种全316L不锈钢过滤器,设计用于过滤≥3nm(0.003μm)的半导体工艺气体。
• 全316L型不锈钢结构
• 最先进的316L不锈钢滤材
• 预处理至超清洁水平
• 总成尺寸可实现极高流量
• 优异的气体置换和解吸特性
• 耐高温高压能力
• 100%氦气防漏检测
• 洁净室生产和包装
• CE认证符合PED 97/23/EC要求
规格
材料
- 电解抛光316L不锈钢外壳
- 316L不锈钢滤材1
- 内表面处理;6601: ≤10μ英寸/0.25mm Ra/6602: ≤7μm R最大值
- Cr:Fe(≥1:1)富铬内表面化学
- VAR PLUS滤壳材料满足或超过典型VIM/VAR规范要求
- 滤壳材料满足或超过VIM/VAR规范要求
滤除精度
- ≥003μm
预处理清洁度
- 产生<10ppb的水分(根据SEMASPEC试验方法#90120397B-STD验证)
- 产生<10ppb的THC(根据SEMASPEC试验方法#90120396B-STD验证)
- 产生<10ppb的氧气(根据SEMASPEC试验方法#90120398B-STD验证)
- 超过背景的颗粒数≤1个/(英尺3或m3)
接头
- 1⁄2英寸垫片密封件,公头/公头(VCR2或相容)
工作条件
- 最大工作压力:
- 100°F时为750psig/38°C时为52巴
- 800°F时为550psig/426°C时为38巴,仅惰性气体
- 最大前向压差:
- 68°F时为30psid/20°C时为2巴
- 800°F时为15psid/426°C时为1巴,仅惰性气体
颗粒滤除特性
- 以高达320slpm/11.3scfm的流量滤除109的颗粒
泄漏额定值
- 进行100% 1x10-9 atmcm3/s的氦气泄漏测试
- 进行10-11 atmcm3/s的设计验证
1 6600系列过滤器总成可提供镍过滤器。如欲了解更多信息,请联系颇尔微电子。
2 VCR是Swagelock公司的注册商标。
性能
压降与气体流量
76Mm Ultramet-L总成
类型
总成
用途
过滤
应用
工艺气体过滤
附加信息
尺寸
订购信息
部件编号 |
描述 |
长度(L) |
直径(D) |
GLFF6601VMM8 |
1⁄2英寸垫片密封件(VCR或相容)公头/公头, |
6.06/154 |
3.02/76.7 |
GLFF6602VMM8 |
1⁄2英寸垫片密封件(VCR或相容)公头/公头, |
6.06/154 |
3.02/76.7 |
单位换算:1巴=100千帕
分类信息
半导体
检查
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