描述
Ultramet-L® 4281/4581系列过滤器总成可选全316L不锈钢滤壳以及316L不锈钢或镍过滤器。该系列总成专门用于过滤≥3nm（0.003μm）的半导体级气体。4281/4581系列过滤器推荐用于可使用316L不锈钢或镍的工艺气体的所有应用。对于有腐蚀性气体的应用，例如含酸性气体的卤素，只有确认气体无水时才建议使用镍过滤器总成。
• 最先进的316L不锈钢或镍质滤材
• 优异的颗粒滤除效率与压降
• 总成尺寸可实现极高流量
• 优异的气体置换和解吸特性
• 耐高温高压能力
• 小尺寸，易于安装
• 可选各种配件
• 100%氦气防漏检测
• 洁净室生产和包装
• 滤壳材料满足或超过VIM/VAR规范要求
规格
材料
- 电解抛光316L不锈钢外壳
- 10微英寸/0.25微米Ra内表面处理
- 滤壳材料满足或超过典型VIM/VAR规范要求
- 316L不锈钢或镍质滤材
额定滤除精度
- ≥003μm
接头
- 1⁄4英寸垫片密封件，公头（VCR1或相容）
- 可选其它配件结构，请联系颇尔
工作条件
- 最大工作压力：
- 100°F时为3,000psi/38°C时为207巴
- 840°F时为1,685psi/450°C时为116巴
- 最大允许压差
- 100°F时为125psi/38°C时为6巴
- 840°F时为60psi/450°C时为1巴
- 欧洲压力设备指令：根据欧盟压力设备指令第97/23/EC号对组件进行评估和设计并通过CE认证
颗粒滤除特性
- 4281系列：
- 以高达6slpm/0.2scfm的流量滤除109的颗粒
- 以高达75slpm/2.6scfm的流量滤除104的颗粒
- 4581系列：以高达50slpm/1.76scfm的流量滤除109的颗粒
泄漏额定值
- 进行100% 10-9 atmcm3/s的氦气泄漏测试
- 进行10-11 atmcm3/s的设计验证
1 VCR是Swagelok公司的商标。
性能
压降与气体流量
GLFF4281VMM4
GLFF4581VMM4
GLFN4581VMM4
类型
总成
用途
过滤
应用
工艺气体过滤
附加信息
尺寸
订购信息
|
部件编号 |
描述 |
配件类型 |
|
GLFF4281VMM4 |
全不锈钢 |
1⁄4英寸垫片密封件（VCR或相容）公头/公头 |
|
GLFF4581VMM4 |
全不锈钢 |
1⁄4英寸垫片密封件（VCR或相容）公头/公头 |
|
GLFN4581VMM4 |
镍质滤材、316L不锈钢滤壳 |
1⁄4英寸垫片密封件（VCR或相容）公头/公头 |
单位换算：1kg/cm2=98.067千帕
分类信息
半导体
检查
Earn 10% off* your next order online by leaving a review of this product. Please login to your account to leave a review. We appreciate and value your feedback.
*Subject to Terms and Conditions.
