描述
规格
材料
- 电解抛光316L不锈钢外壳
- 10微英寸/0.25微米Ra内表面处理
- Cr:Fe（1:1）滤壳内表面化学
- 316L不锈钢滤材*
- 滤壳材料满足或超过VIM/VAR规范要求
- 内表面处理
- 5500: ≤10微英寸/0.25μm Ra
- 5502: ≤7μm R最大值
滤除精度
- ≥003μm
预处理选项1
（5502系列）
- 产生<10ppb的水分（根据SEMASPEC试验方法#90120397B-STD验证）
- 产生<10ppb的thc（根据SEMASPEC试验方法#90120396B-STD验证）
- 产生<10ppb的O2（根据SEMASPEC试验方法#90120398B-STD验证）
- 颗粒影响未超出背景，≤1个颗粒/（英尺3或m3）
接头
- 1⁄4英寸垫片密封件，公头/公头（VCR2或相容）
- 1⁄4英寸对头焊接，公头/公头（035英寸/0.89mm壁）
- 1⁄2英寸垫片密封件，公头/公头（VCR或相容）
- 1⁄2英寸对头焊接（049英寸/1.24mm壁）
工作条件
- 最大工作压力：
- 100°F时为750psig/38°C时为7b巴
- 800°F时为550psig/426°C时为38巴，仅惰性气体
- 最大允许压差68°F时为75psid/20°C时为2巴
颗粒滤除特性
- 以高达150slpm的流量滤除109的颗粒
泄漏额定值
- 进行100% 1x10-9 atmcm3/s的氦气泄漏测试
- 进行10-11 atmcm3/s的设计验证
2 VCR是Swagelock公司的注册商标。
性能
压降与气体流量
类型
用途
应用
附加信息
尺寸
订购信息
|
部件编号 |
描述 |
配件类型 |
长度（L） |
预处理 |
|
GLFF5500VMM4 |
全316L不锈钢 |
1⁄4英寸垫片密封件（VCR或相容）公头/公头 |
5.00/127 |
否 |
|
GLFF5500VMM8 |
全316L不锈钢 |
1⁄2英寸垫片密封件（VCR或相容）公头/公头 |
5.00/127 |
否 |
|
GLFF5500BW4 |
全316L不锈钢 |
1⁄4英寸对头焊接，0.035英寸/0.89mm壁 |
2.50/64 |
否 |
|
GLFF5500BW8 |
全316L型不锈钢 |
1⁄2英寸对头焊接，0.049英寸/1.24mm壁 |
2.50/64 |
否 |
|
GLFF5502VMM4 |
全316L不锈钢 |
1⁄4英寸垫片密封件（VCR或相容）公头/公头 |
5.00/127 |
是 |
|
GLFF5502VMM8 |
全316L不锈钢 |
1⁄2英寸垫片密封件（VCR或相容）公头/公头 |
5.00/127 |
是 |
|
GLFF5502BW4 |
全316L不锈钢 |
1⁄4英寸对头焊接，0.035英寸/0.89mm壁 |
2.50/64 |
是 |
|
GLFF5502BW8 |
全316L不锈钢 |
1⁄2英寸对头焊接，0.049英寸/1.24mm壁 |
2.50/64 |
是 |
|
SGLFF5500VMM4 |
全316L不锈钢 |
1⁄4英寸垫片密封件（VCR或相容）公头/公头 |
3.31/84 |
否 |
|
SGLFF5500VMM8 |
全316L不锈钢 |
1⁄2英寸垫片密封件（VCR或相容）公头/公头 |
3.31/84 |
否 |
|
SGLFF5502VMM4 |
全316L不锈钢 |
1⁄4英寸垫片密封件（VCR或相容）公头/公头 |
3.31/84 |
是 |
|
SGLFF5502VMM8 |
全316L不锈钢 |
1⁄2英寸垫片密封件（VCR或相容）公头/公头 |
3.31/84 |
是 |
单位换算：1巴=100千帕
分类信息
检查
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