描述
Emflon®滤芯设计用于≥3nm(0.003μm)的惰性气体应用过滤,用于半导体设备生产。
• 应用范围广
• 高效清除颗粒
• 流量高达50scfm
• 高流速与压差比
• 优化滤芯设计
• 在洁净室环境中生产
• 100%通过完整性测试
规格
材料
- 滤材:PTFE
- 内芯、网罩和端盖:聚丙烯
- 背衬和排液:聚丙烯
- O型圈:Viton1、Viton-A
滤除精度
- ≥003μm
结构
- 标称长度:
- 1英寸/25mm
- 75英寸/44mm
- 5英寸/64mm
- 5英寸/127mm
- 直径:18英寸/55mm
- O型圈尺寸/端盖:
- 115内部/平端(9106/9112)
- 116内部/平端(2230/4463)
- 118外部/平端(4440)
- 209内部/平端(9130/9163)
工作条件
- 最高温度:194°F/90 °C
- 最大前向压差:
- 120°F时为80psi/50°C时为5巴
- 194°F时为50psi/90°C时为5巴
性能
压降与气体流量
滤芯类型:Junior 9106/9112
滤芯类型:Junior 4440
滤芯类型:Junior 2230/9130
滤芯类型:Junior 4463/9163
类型
滤筒和滤芯
用途
过滤
应用
工艺气体过滤
订购信息
部件编号 |
滤除精度(μm) |
标称长度(英寸/mm) |
O型圈尺寸/材料 |
MCY9106FREH |
0.003 |
1/25 |
115/Viton(内部) |
MCY9112FREH |
0.003 |
1.75/44 |
115/Viton(内部) |
MCY9130FREH |
0.003 |
2.5/64 |
209/Viton(内部) |
MCY9163FREH |
0.003 |
5/127 |
209/Viton(内部) |
MDY2230FREHF |
0.003 |
2.5/64 |
116/Viton A(内部) |
MCY4463FREHF |
0.003 |
5/127 |
116/Viton A(内部) |
MCY4440FREHF |
0.003 |
5/127 |
118/Viton A(外部) |
单位换算:1巴=100千帕
分类信息
半导体
检查
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