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Gaskleen® TM 1 1/8” W封过滤器总成 product photo Primary L

Gaskleen® TM Filter Assemblies 1 1/8'' W-Seal

颇尔的Gaskleen顶装式（TM）过滤器总成设计用于过滤≥3nm的半导体工艺气体。该顶装式过滤器非常适用于集成供气系统，易于操作和更换。 • 电解抛光316L不锈钢滤壳 • 最先进的316L不锈钢或镍质滤材 • 高温和高压能力 • 优异的气体置换和解吸特性 • 100%氦气防漏检测 • 在洁净室内生产和包装
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描述

颇尔的Gaskleen顶装式（TM）过滤器总成设计用于过滤≥3nm的半导体工艺气体。该顶装式过滤器非常适用于集成供气系统，易于操作和更换。 • 电解抛光316L不锈钢滤壳 • 最先进的316L不锈钢或镍质滤材 • 高温和高压能力 • 优异的气体置换和解吸特性 • 100%氦气防漏检测 • 在洁净室内生产和包装

规格

 

构成材质

滤材

GTMF1013F4A: 316L不锈钢
GTMN1013F4A: 镍
GTMF3700F4A: 316L不锈钢

内表面处理

≤5微英寸/0.13μm Ra

滤壳

电解抛光316L不锈钢滤壳材料满足或超过VIM/VAR规范要求。
欧洲压力设备指令：根据欧盟压力设备指令第2014/68/EU号对总成进行评估和设计，未进行CE认证

滤壳内表面化学

Cr:Fe（1:1）富铬

滤除精度

≥3nm

颗粒滤除特性

GTMF1013F4A: 以高达5slpm的流量滤除109的颗粒
GTMN1013F4A: 以高达3slpm的流量滤除109的颗粒
GTMF3700F4A: 以高达 100slpm的流量滤除109的颗粒

接头

W封、1 1/8”接口

额定泄漏值

100%氦气泄漏测试至10-9atm cm3/秒
设计验证至10-11atm cm3/秒

最大工作压力

100ºC时为3.4MPa/212ºF时为500psig

最大允许压差

40ºC时为0.69MPa/104ºF时为100psid

 

 

性能

压降与气体流量

F1013

F1013

F3700

F3700

类型

总成

用途

过滤

应用

工艺气体过滤

附加信息

尺寸

F1013

F1013

订购信息

 

 

部件编号

描述

高度
（mm/英寸）

设计流量
（slpm）

GTMF1013F4A

全316L不锈钢

36.8/1.45

0-5

GTMN1013F4A

316L不锈钢滤壳镍过滤器

40.2/1.45

0-3

GTMF3700F4A

316L不锈钢

79.3/3.12

0-100

 

分类信息

半导体

检查

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