Gaskleen® TM 1 1/8'' C封过滤器总成 product photo Primary L

Gaskleen® TM Filter Assemblies 1 1/8'' C-Seal

颇尔的Gaskleen®顶装式(TM)过滤器总成设计用于过滤≥3nm的半导体工艺气体。该顶装式过滤器理想适用于集成供气系统,易于操作和更换。 • 316L不锈钢滤壳 • 最先进的滤材 • 高温和高压能力 • 优异的气体置换和解吸特性 • 100%氦气防漏检测 • 在洁净室内生产和包装


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描述

颇尔的Gaskleen®顶装式(TM)过滤器总成设计用于过滤≥3nm的半导体工艺气体。该顶装式过滤器理想适用于集成供气系统,易于操作和更换。 • 316L不锈钢滤壳 • 最先进的滤材 • 高温和高压能力 • 优异的气体置换和解吸特性 • 100%氦气防漏检测 • 在洁净室内生产和包装

规格

 

构成材质

滤材

GTMF1013CC4:316L不锈钢
GTMF3700CC4:316L不锈钢
GTMN1013CC4:镍
GTMP3101CC4:PTFE

内表面处理

≤0.13μm/5μ英寸Ra

滤壳

316L不锈钢
滤壳材料满足或超过VIM/VAR规范要求。
欧洲压力设备指令:根据欧盟压力设备指令第2014/68/EU号对总成进行评估和设计,未进行CE认证。

滤壳内表面化学

Cr:Fe(1:1)富铬

内芯和端盖
(GTMP3101CC4)

PFA

O型圈
(GTMP3101CC4)

包封FEP的氟橡胶

滤除精度

≥3nm

颗粒滤除特性

GTMF1013CC4:以高达5 slpm的流量滤除109的颗粒
GTMN1013CC4:以高达3 slpm的流量滤除109的颗粒
GTMP3101CC4:以高达75 slpm的流量滤除109的颗粒
GTMF3700CC4:以高达100 slpm的流量滤除109的颗粒

接头

C封、1 1/8”接口

额定泄漏值

100%氦气泄漏测试至10-9 atm cm3/秒
设计验证至10-11 atm cm3/秒

设计压力
(最大工作压力)

100ºC时为3.5MPa/212ºF时为500psig

最大允许压差

GTMF1013CC4/GTMN1013CC4/GTMF3700CC4
38ºC时为0.7MPa/100ºF时为100psid
GTMP3101CC4
121ºC时为0.6MPa/250ºF时为80psid

 

性能

空气流量与压降

GTMF1013CC4

GTMF1013CC4

GTMN1013CC4

GTMN1013CC4

GTMP3101CC4

GTMP3101CC4

GTMF3700CC4

GTMP3101CC4

类型

总成

用途

过滤

应用

工艺气体过滤

订购信息

 

 

部件编号

描述

高度
mm/英寸)

壳体直径
mm/英寸)

设计流量
slpm

GTMF1013CC4

全316L不锈钢

35.6/1.4

22.1/0.87

0-5

GTMN1013CC4

316L不锈钢滤壳镍过滤器

35.6/1.4

22.1/0.87

0-3

GTMP3101CC4

316L不锈钢滤壳全氟聚合物滤芯

74.5/2.93

21.7/0.85

0-75

GTMF3700CC4

全316L不锈钢

74.5/2.93

21.7/0.85

0-100

 

 

分类信息

半导体

检查

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