描述
规格
材料
- 滤材:PTFE
- 内芯:PFA
- O型圈:包封FEP的氟橡胶
- 电解抛光316L不锈钢外壳材料
- VAR PLUS滤壳满足或超过典型VIM/VAR规范要求
- 内表面处理≤13μm/5微英寸Ra(密封圈和对头焊接接头)≤0.15μm/20微英寸Ra(压缩接头)
- Cr:Fe(1:1)富铬内表面化学
滤除精度
- ≥3nm
3102系列预处理选项
- 产生<10ppb的水分(根据SEMASPEC试验方法#90120397B-STD验证)
- 产生<10ppb的THC(根据SEMASPEC试验方法#90120396B-STD验证)
- 产生<10ppb的氧气(根据SEMASPEC试验方法#90120398B-STD验证)
- 无超过背景的颗粒,≤1个颗粒/(m3或英尺3)
过滤面积
- 5cm2/0.015英尺2
接头
- 1⁄4英寸垫片密封件(VCR1或相容)
- 1⁄4英寸对头焊接(035英寸壁厚)
- 1⁄4英寸压缩密封(Swagelok1或相容)
工作条件
- 最大工作压力:121°C时为7Mpa/250°F时为3000psig
- 最大前向压差:21°C时为55MPa/70°F时为80psid
- 最大反向压差:21°C时为34MPa/70°F时为50psid
- 欧洲压力设备指令:根据欧盟压力设备指令第97/23/EU号对组件进行评估和设计,未进行CE认证。
额定泄漏值
- 进行100% 1x10-9atmcm3/s的氦气泄漏测试
- 进行10-11atmcm3/s的设计验证
1VCR和Swagelok是Swagelok公司的注册商标。
性能
压降与气体流量
类型
用途
应用
附加信息
尺寸
订购信息
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|||
部件编号 |
描述 |
长度(L) |
预处理 |
GLFPF3101VMM4 |
1⁄4英寸垫片密封件(VCR或相容)公头/公头 |
84/3.31 |
否 |
GLFPF3101BW4 |
1⁄4英寸对头焊接(0.035英寸壁厚) |
90/3.54 |
否 |
GLFPF3101SM4 |
1⁄4英寸压缩密封件,进口/出口公头(与Swagelok相容) |
73/2.88 |
否 |
GLFPF3101VFM4 |
1⁄4英寸垫片密封件(VCR或相容)进口母头/出口公头 |
88/3.47 |
否 |
GLFPF3101VMF4 |
1⁄4英寸垫片密封件(VCR或相容)进口公头/出口母头 |
100/3.94 |
否 |
GLFPF3102VMM4 |
1⁄4英寸垫片密封件(VCR或相容)公头/公头 |
84/3.31 |
是 |
GLFPF3111VMM4 |
1⁄4英寸垫片密封件(VCR或相容)公头/公头 |
127/5.00 |
否 |
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单位换算:1巴=100千帕
分类信息
检查
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