不对称P-尼龙过滤器(光刻) product photo Primary L

Asymmetric P-Nylon Filter (Lithography)

不对称P-尼龙过滤器利用经验证的低缺陷尼龙膜,成形为新型不对称孔隙几何结构。这种锥形微孔设计具有开放的上游结构和精细下游区域,产生极低的工作压力。尼龙效应1已经验证可明显减少193纳米光致抗蚀剂和底部抗反射涂层化学工艺(BARC)中的微桥和锥缺陷,因此可用于所有光刻应用中。XP选项可用于高级光刻工艺。 特点 天然亲水(未表面改性) 快速排气 100%通过完整性测试 在洁净室环境中生产 通过筛滤和吸附减少缺陷 XP选项可最大程度减少有机物 XP选项可保证多数高级工艺低有机物、金属和颗粒物清洁度。 优势 缩短过滤器起动和工具停机时间 减少化学品废物 1P-尼龙薄膜的独特表面特性吸附硬质可溶性聚合物成分。


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描述

不对称P-尼龙过滤器利用经验证的低缺陷尼龙膜,成形为新型不对称孔隙几何结构。这种锥形微孔设计具有开放的上游结构和精细下游区域,产生极低的工作压力。尼龙效应1已经验证可明显减少193纳米光致抗蚀剂和底部抗反射涂层化学工艺(BARC)中的微桥和锥缺陷,因此可用于所有光刻应用中。XP选项可用于高级光刻工艺。 特点 天然亲水(未表面改性) 快速排气 100%通过完整性测试 在洁净室环境中生产 通过筛滤和吸附减少缺陷 XP选项可最大程度减少有机物 XP选项可保证多数高级工艺低有机物、金属和颗粒物清洁度。 优势 缩短过滤器起动和工具停机时间 减少化学品废物 1P-尼龙薄膜的独特表面特性吸附硬质可溶性聚合物成分。

规格

构成材料

 

部件

材料

滤材

不对称亲水性尼龙6,6

背衬和排液

HDPE2

内芯、网罩和端盖

HDPE

O型圈选项

FEP包封氟橡胶Kalrez3

 

 

 

ABD过滤器

额定滤除精度

2nm

5nm

10nm

20nm

40nm

0.15μm

过滤面积(10"/标准直径)

1.7m2

1.1m2

1.3m2

1.3m2

1.2m2

1.2m2

过滤面积(10"/G2直径)

2.2m2

最高工作温度

50˚C/122˚F

最大前向压差

20˚C下为275kPa/68˚F下为40psid

 

1P-尼龙薄膜的独特表面特性吸附硬质可溶性聚合物成分。
2高密度聚乙烯
3Kalrez是DuPont高性能弹性体公司的商标。

性能

典型流动特征-1厘泊 (20℃)


类型

滤筒

用途

过滤,  液体

应用

光刻法

订购信息

产品编码/订购信息4, 5

ABD [1] [2] [3] E [4]

表 1

 

代码

标称长度/直径(mm/英寸)

1

254 / 10

70 / 2.75

2

508 / 20

70 / 2.75

3

762 / 30

70 / 2.75

G1

254 / 10

82 / 3.25

G2

508 / 20

82 / 3.25

 

表 2

 

代码

额定滤除精度

XN2L

2nm

HXN5

5nm

AN01

10nm

ANM

20nm

AND

40nm

AN15

0.15μm

 

表 3

 

代码

结构

3

222 O型圈:开端、平面密封端

7

226 O型圈:开端、带翅密封端

8

222 O型圈:开端、带翅密封端

 

表 4

 

代码

O型圈材料

H1

FEP包封氟橡胶

H11

Kalrez

 

4滤芯可能并非可用于所有结构,请联系您当地的颇尔代表获取。
5对于XP处理选项,在10-20nm额定滤除精度和10-20英寸部件编号的末尾添加XP
2nm/5nm产品标配进行XP处理)

分类信息

半导体

检查

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