小流量Emflon®过滤器(光刻法) product photo Primary L

Small Flow Emflon® Filter (Microlithography)

建议将小流量Emflon过滤器用于与聚四氟乙烯(PTFE)和聚丙烯相容的化学品。 • 大流量 • 各种结构 • 可选3种滤除精度 • 完整性可测试 • 低溶出 • 优化设计 • 在洁净室环境中生产 • 100%通过完整性测试


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描述

建议将小流量Emflon过滤器用于与聚四氟乙烯(PTFE)和聚丙烯相容的化学品。 • 大流量 • 各种结构 • 可选3种滤除精度 • 完整性可测试 • 低溶出 • 优化设计 • 在洁净室环境中生产 • 100%通过完整性测试

规格

材料

  • 滤材:PTFE
  • 内芯、网罩和端盖:聚丙烯
  • 背衬和排液:聚丙烯
  • O型圈选项:Viton1、包封FEP的弹性体与乙丙橡胶

滤除精度

  • 1μm、2μm、0.1μm

过滤面积

  • 每2230滤芯为3ft2/0.22m2
  • 每4463滤芯为7ft2/0.44m2
  • 每4440滤芯为8ft2/0.35m2

结构

  • 标称长度:5英寸/64mm和5英寸/127mm
  • 直径:25英寸/57 mm
  • O型圈尺寸/端盖:
    • 2230号(116内部O型圈/平端)
    • 4463号(116内部O型圈/平端)
    • 4440号(118双O型圈/平端)

工作条件

  • 最高温度:194°F/90 °C
  • 最大前向压差:
    • 120°F时为80psi/50°C时为5巴
    • 121-195°F时为50psid/51-90°C时为5巴
1 Viton是杜邦陶氏弹性体公司的商标。

性能

压降与介质流量*

滤芯类型:2230

Cartridge Style 2230

滤芯类型:4440

Cartridge Style 4440

滤芯类型:4463

Cartridge Style 4463

* 对于粘度不同于水的液体,压降应乘以粘度(厘泊)。

类型

滤筒和滤芯

用途

过滤

应用

光刻法

订购信息

部件编号

滤除精度(μm

标称长度(英寸/mm

O型圈尺寸/材料2

MDY2230FNEHF

1.0

2.5 / 64

116/Viton A

MCY4463FNEHF

1.0

5.0 / 127

116/Viton A

MDY2230FREHF

0.2

2.5 / 64

116/Viton A

MCY4463FREHF

0.2

5.0 / 127

116/Viton A

MCY4440FREHF3

0.2

5.0 / 127

118/Viton A

MDY2230FTEJ

0.1

2.5 / 64

116/乙丙橡胶

MCY4463FTEHF

0.1

5.0 / 127

116/Viton A

2 可选其它O型圈材料。3 设计用于改装竞争对手的40个堆叠滤芯。
单位换算:1巴=100千帕

分类信息

半导体

检查

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