描述
Ultipleat P尼龙过滤器特别推荐用于光刻胶、溶剂、TMAH类显影剂和其它可与尼龙6,6和高密度聚乙烯（HDPE）相容的化学品粗滤。过滤器设计采用颇尔过滤技术的最新进步：月牙形Ultipleat®过滤器结构。
• 固有亲水性
• 快速排气
• 具有各种结构
• 大流量
• 完整性可测试
• 低溶出物量
• 在洁净室环境中生产
• 100%通过完整性测试
规格
材料
- 滤材：亲水性尼龙6,6
- 内芯、网罩和端盖：高密度聚乙烯(HDPE)
- 背衬和排液：高密度聚乙烯(HDPE)
- O型圈选项：包封Viton1和FEP的弹性体
滤除精度
- 1μm、40nm、20nm
过滤面积
- 1微米UNI：0.93m2/10.7ft2/10英寸
- 40Nm UND：2m2/13ft2/10英寸
- 20nm UNM：4m2/15ft2/10英寸
结构
- 标称长度：
- 254mm/10英寸
- 508mm/20英寸
- 762mm/30英寸
- 1016mm/40英寸
- 直径：70mm/2.75英寸
- O型圈尺寸/端盖：
- 3号：222双O型圈/平端
- 8号：222双O型圈/翅端
- 7号：226 双O型圈卡销/翅端
- MR 3号：222双O型圈/平端用于改进Code 0滤芯
工作条件
- 最高使用温度：50°C/120°F
- 最大前向/反向压差：20°C时为275kPa/68°F时为40psid
建议应用
- 抗反射涂层
- 高达3%的TMAH类显影剂
- i线、248nm和193nm光刻胶
- 溶剂
性能
压降及介质流量2
2 对于粘度不同于水的介质，将压降乘以粘度（厘泊）。
类型
滤筒和滤芯
用途
过滤
应用
光刻法
订购信息
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部件编号3 |
滤除精度 |
标称长度（mm/英寸） |
结构代码 |
O型圈材料4 |
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ABD1UNI3EH1 |
0.1μm |
254/10 |
3 |
包封FEP的橡胶 |
|
ABD1UNI8EH1 |
0.1μm |
254/10 |
8 |
包封FEP的橡胶 |
|
MRD1UNI3EH1 |
0.1μm |
254/10 |
3 |
包封FEP的橡胶 |
|
ABD1UND3EH1 |
40nm |
254/10 |
3 |
包封FEP的橡胶 |
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ABD1UND8EH1 |
40nm |
254/10 |
8 |
包封FEP的橡胶 |
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ABD1UNM3EH1 |
20nm |
254/10 |
3 |
包封FEP的橡胶 |
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ABD1UNM8EH1 |
20nm |
254/10 |
8 |
包封FEP的橡胶 |
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3上述过滤器结构还可选508mm/20英寸、762mm/30英寸和1016mm/40英寸长度。可将部件编号的第4位数分别改为2、3或4订购。
4 可选其它O型圈材料。
单位换算：1巴=100千帕
分类信息
半导体
检查
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