Ultipleat P尼龙过滤器(光刻) product photo Primary L

Ultipleat P-Nylon Filter (Lithography)

Ultipleat P尼龙过滤器特别推荐用于光刻胶、溶剂、TMAH类显影剂和其它可与尼龙6,6和高密度聚乙烯(HDPE)相容的化学品粗滤。过滤器设计采用颇尔过滤技术的最新进步:月牙形Ultipleat®过滤器结构。 • 固有亲水性 • 快速排气 • 具有各种结构 • 大流量 • 完整性可测试 • 低溶出物量 • 在洁净室环境中生产 • 100%通过完整性测试


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描述

Ultipleat P尼龙过滤器特别推荐用于光刻胶、溶剂、TMAH类显影剂和其它可与尼龙6,6和高密度聚乙烯(HDPE)相容的化学品粗滤。过滤器设计采用颇尔过滤技术的最新进步:月牙形Ultipleat®过滤器结构。 • 固有亲水性 • 快速排气 • 具有各种结构 • 大流量 • 完整性可测试 • 低溶出物量 • 在洁净室环境中生产 • 100%通过完整性测试

规格

材料

  • 滤材:亲水性尼龙6,6
  • 内芯、网罩和端盖:高密度聚乙烯(HDPE)
  • 背衬和排液:高密度聚乙烯(HDPE)
  • O型圈选项:包封Viton1和FEP的弹性体

滤除精度

  • 1μm、40nm、20nm

过滤面积

  • 1微米UNI:0.93m2/10.7ft2/10英寸
  • 40Nm UND:2m2/13ft2/10英寸
  • 20nm UNM:4m2/15ft2/10英寸

结构

  • 标称长度:
    • 254mm/10英寸
    • 508mm/20英寸
    • 762mm/30英寸
    • 1016mm/40英寸
  • 直径:70mm/2.75英寸
  • O型圈尺寸/端盖:
    • 3号:222双O型圈/平端
    • 8号:222双O型圈/翅端
    • 7号:226 双O型圈卡销/翅端
    • MR 3号:222双O型圈/平端用于改进Code 0滤芯

工作条件

  • 最高使用温度:50°C/120°F
  • 最大前向/反向压差:20°C时为275kPa/68°F时为40psid

建议应用

  • 抗反射涂层
  • 高达3%的TMAH类显影剂
  • i线、248nm和193nm光刻胶
  • 溶剂
1 Viton是杜邦公司的注册商标

性能

压降及介质流量2




2 对于粘度不同于水的介质,将压降乘以粘度(厘泊)。

类型

滤筒和滤芯

用途

过滤

应用

光刻法

订购信息

 

部件编号3

滤除精度

标称长度(mm/英寸)

结构代码

O型圈材料4

ABD1UNI3EH1

0.1μm

254/10

3

包封FEP的橡胶

ABD1UNI8EH1

0.1μm

254/10

8

包封FEP的橡胶

MRD1UNI3EH1

0.1μm

254/10

3

包封FEP的橡胶

ABD1UND3EH1

40nm

254/10

3

包封FEP的橡胶

ABD1UND8EH1

40nm

254/10

8

包封FEP的橡胶

ABD1UNM3EH1

20nm

254/10

3

包封FEP的橡胶

ABD1UNM8EH1

20nm

254/10

8

包封FEP的橡胶

 

3上述过滤器结构还可选508mm/20英寸、762mm/30英寸和1016mm/40英寸长度。可将部件编号的第4位数分别改为234订购。
4 可选其它O型圈材料。
单位换算:1巴=100千帕

分类信息

半导体

检查

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