描述
Mini Kleen-Change过滤器总成设计用于滞留体积小和对清洁度有严苛要求的小规模分配应用。设计尺寸紧凑，可确保较小的滞留体积。全氟聚合物结构提供优异的清洁度和相容性。
本产品线新加入20nm精度级别，该精度可滤除最尖端工业中的较细颗粒。
• 滞留体积小
• 全氟聚合物结构
• 无弹性密封件
• 洁净室内生产
规格
构成材质
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部件 |
材料 |
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滤材 |
PTFE |
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背衬和排液 |
FEP/PTFE |
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内芯、网罩和端盖 |
PFA |
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滤壳 |
PFA |
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滤除精度 |
20nm、0.05µm、0.1µm |
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过滤面积 |
320cm2/50平方英寸 |
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接头 |
进口/出口：¼"Super Pillar配件* |
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最高工作温度 |
248°F/120°C |
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最大工作压力 |
58psi@77°F/0.4MPa@25°C |
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性能
压降及介质流量（水、20°C）1
1对于粘度不同于水的介质，将压降乘以粘度（mPa•s）。
类型
总成、滤囊
用途
过滤
应用
光刻法
附加信息
尺寸
订购信息
部件编号/订购信息
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代码 |
滤除精度 |
长度L |
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FK |
20nm |
4.25/108 |
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F0005 |
0.05µm |
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F001 |
0.1µm |
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分类信息
半导体
检查
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