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适合CMP应用的Profile® Nano过滤器 product photo Primary L

Profile® Nano Filters for CMP Applications

Profile® Nano过滤器可对先进的CMP工艺中常用的铈土和低固体硅胶料浆进行分类，例如浅沟槽隔离（STI）和屏蔽铜。颇尔最先进的熔吹工艺可生产出极细纤维，从而提高细至100nm颗粒的滤除效率。超细纤维基材理想用于滤除主要通过筛滤等机械过滤机理捕获的铈土等颗粒。 • 多区微孔结构可优化过滤效率，使用寿命长 • 各区按既定规格生产，可确保过滤的稳定性和可重复性。 • 陡峭效率曲线，显著提升尺寸过大颗粒的滤除率，同时最大程度减少所需粉浆颗粒的滤除
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描述

Profile® Nano过滤器可对先进的CMP工艺中常用的铈土和低固体硅胶料浆进行分类，例如浅沟槽隔离（STI）和屏蔽铜。颇尔最先进的熔吹工艺可生产出极细纤维，从而提高细至100nm颗粒的滤除效率。超细纤维基材理想用于滤除主要通过筛滤等机械过滤机理捕获的铈土等颗粒。 • 多区微孔结构可优化过滤效率，使用寿命长 • 各区按既定规格生产，可确保过滤的稳定性和可重复性。 • 陡峭效率曲线，显著提升尺寸过大颗粒的滤除率，同时最大程度减少所需粉浆颗粒的滤除

规格

 

材料
  • 滤材：聚丙烯
  • 内芯、网罩和端盖：聚丙烯
  • O型圈选项：乙丙橡胶（EPR）

滤除精度
  • 100nm

结构
  • 标称长度：
    102mm（4英寸）、254mm/10英寸、508mm/20英寸、762mm/30英寸、1016mm/40英寸
  • 直径：
    63mm/2.5英寸
  • O型圈尺寸/端盖：
    19号（222双O型圈/平端）

工作条件
  • 最高使用温度：
    82°C/180°F
  • 最大压差：
    0°C时为0.41MPa/85°F时为60psid；
    50°C时为0.34MPa/120°F时为50psid；
    70°C时为0.2MPa/160°F时为30psid；
    82°C时为0.1MPa/180°F时为15psid

 

性能

压降与介质流量

类型

滤筒和滤芯

用途

过滤

订购信息

颇尔部件编号= AB [1] NP10019J

表1

 

代码

滤芯长度
毫米/英寸

04

102/4

1

254/10

2

508/20

3

762/30

4

1016/40

 

分类信息

半导体

检查

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