描述
Profile® Nano过滤器可对先进的CMP工艺中常用的铈土和低固体硅胶料浆进行分类,例如浅沟槽隔离(STI)和屏蔽铜。颇尔最先进的熔吹工艺可生产出极细纤维,从而提高细至100nm颗粒的滤除效率。超细纤维基材理想用于滤除主要通过筛滤等机械过滤机理捕获的铈土等颗粒。
• 多区微孔结构可优化过滤效率,使用寿命长
• 各区按既定规格生产,可确保过滤的稳定性和可重复性。
• 陡峭效率曲线,显著提升尺寸过大颗粒的滤除率,同时最大程度减少所需粉浆颗粒的滤除
规格
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材料 |
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滤除精度 |
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结构 |
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工作条件 |
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性能
压降与介质流量
类型
滤筒和滤芯
用途
过滤
应用
CMP
订购信息
颇尔部件编号= AB [1] NP10019J
表1
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代码 |
滤芯长度 |
04 |
102/4 |
1 |
254/10 |
2 |
508/20 |
3 |
762/30 |
4 |
1016/40 |
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分类信息
半导体
检查
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