描述
CMP StarKleen™纳米囊式过滤器开发用于分类高级CMP工艺所用工具上或周围的铈土和低固硅溶胶粉浆,例如浅沟槽隔离(STI)和防渗铜。采用颇尔最先进的熔吹工艺生产极细纤维,提高100nm精细颗粒的滤除效率。超细纤维基材理想用于滤除铈土等颗粒,主要通过筛滤等机械过滤机理进行捕获。
• 多区微孔结构可优化效率并延长使用寿命
• 采用完全一次性的紧凑型全聚丙烯材料,配有易于更换的Flaretek1接头。排气和排液可配备NPT或Flaretek配件。
• 各区按既定规格生产,可确保性能的稳定性和可重复性。
• 陡峭效率曲线最大程度地避免带走所需粉浆颗粒,同时可明显提高过大尺寸颗粒清除率。
1 Flaretek是Entegris公司的商标
规格
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材料 |
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滤除精度 |
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工作条件2 |
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连接 |
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1Flaretek是Entegris公司的商标
2 使用不会使过滤器性能或其构成材料发生软化、膨胀或其它不利影响的相容性流体。
尺寸
性能
压降与介质流量3
3对于粘度不同于水的液体,压降应乘以粘度(厘泊)。
类型
囊式过滤器
用途
过滤, 液体
应用
CMP
订购信息
部件编号/订购信息
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部件编号 |
滤除精度 |
连接 |
标称长度 |
DFA4201NP100 |
100nm |
1/4" NPT/1/8" NPT |
114.55/4.51 |
DFA1NP100FL4N2 |
100nm |
1/4" Flaretek/1/8" NPT |
114.55/4.51 |
DFA2NP100F64 |
100nm |
3/8" Flaretek/1/4" Flaretek |
213.40 / 8.4 |
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分类信息
半导体
检查
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