描述
Profile II过滤器可有效清除氧化物、钨和铜CMP料浆中的团聚颗粒和凝胶，但不影响料浆颗粒分布。
• 具有稳定和可重现性的深滤器
• 连续的异形微孔结构，实现内置预过滤，工作寿命长。
• 陡峭效率曲线，显著提升尺寸过大颗粒的滤除率，同时最大程度减少所需粉浆颗粒的滤除
规格
材料
- 滤材：聚丙烯
- 内芯、网罩和端盖：聚丙烯
- O型圈选项乙丙橡胶（EPR）
滤除精度
- 2μm、0.3μm、0.5μm、1μm、3μm、5μm、10μm、20μm、30μm和40μm
（Profile过滤器滤除精度是传统深滤器精度的5-10倍。）
结构
- 标称长度：254mm/10英寸、508mm/20英寸、762mm/30英寸和1016mm/40英寸.
- O型圈尺寸/端盖：
3号（222双O型圈/平端）
25号（222双O型圈/平端）
工作条件
- 最高温度：82°C/180°F
- 最大压差：
30°C下为41MPa/85°F下为60psig；
50°C下为0.34MPa/120°F下为50psid；
70°C下为0.2MPa/160°F下为30psid;
82°C下为0.1MPa/180°F下为15psid
性能
压降及介质流量1
1 对于粘度不同于水的介质，压降应乘以粘度（厘泊）。
类型
滤筒和滤芯
用途
过滤
应用
CMP、CMP
订购信息
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部件编号 |
滤除精度2（μm） |
标称长度2（mm/英寸） |
结构代码2 |
O型圈材料2 |
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AB1Y00225J |
0.2 |
254/10 |
25 |
EPR |
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AB2Y00225J |
0.2 |
508/20 |
25 |
EPR |
|
AB1Y0033J |
0.3 |
254/10 |
3 |
EPR |
|
AB2Y0033J |
0.3 |
508/20 |
3 |
EPR |
|
AB1Y0053J |
0.5 |
254/10 |
3 |
EPR |
|
AB2Y0053J |
0.5 |
508/20 |
3 |
EPR |
|
AB1Y0103J |
1 |
254/10 |
3 |
EPR |
|
AB2Y0103J |
1 |
508/20 |
3 |
EPR |
|
AB1Y0303J |
3 |
254/10 |
3 |
EPR |
|
AB2Y0303J |
3 |
508/20 |
3 |
EPR |
|
AB1Y0503J |
5 |
254/10 |
3 |
EPR |
|
AB2Y0503J |
5 |
508/20 |
3 |
EPR |
|
AB1Y1003J |
10 |
254/10 |
3 |
EPR |
|
AB2Y1003J |
10 |
508/20 |
3 |
EPR |
|
AB1Y2003J |
20 |
254/10 |
3 |
EPR |
|
AB2Y2003J |
20 |
508/20 |
3 |
EPR |
|
AB1Y3003J |
30 |
254/10 |
3 |
EPR |
|
AB2Y3003J |
30 |
508/20 |
3 |
EPR |
|
AB1Y4003J |
40 |
254/10 |
3 |
EPR |
|
AB2Y4003J |
40 |
508/20 |
3 |
EPR |
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单位换算：1巴=100千帕
分类信息
数据存储、半导体
检查
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