描述
相较于以前的设计，UltiKleen Excellar ER过滤器具有更高的滤除率（ER）和不去湿特性。这些特性使半导体制造商能够满足22纳米和更高级制造节点的化学过程过滤要求，从而提供一种适用于SPM、SC-1和SC-2等侵蚀性清洗化学特性的坚固可靠的化学清洗过滤器。JKC（Junior Kleen-Change®）总成是一种完全一次性的过滤器装置，设计用于关键的单通使用点滤除。
特点
• 提高颗粒滤除率（ER）
• 坚固的不去湿PTFE滤材
• 大流量
• 超细微孔滤材基质设计
• 全超高纯氟聚合物结构
• 100%通过完整性测试
规格
构成材质
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部件 |
材料 |
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滤材 |
表面改性PTFE |
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滤膜背衬 |
PFA |
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内芯/外网罩 |
PFA |
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端盖 |
PFA |
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壳体 |
PFA |
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滤除精度和使用条件
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滤除精度 |
20nm、15nm |
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结构 |
在线 |
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标称过滤器面积 |
1300cm2/1.4ft2 |
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最高工作温度 |
120°C/248°F |
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最大工作压力 |
25°C/73psig@77°F时为0.50MPaG |
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尺寸2
2标称长度
性能
压降与介质流量1（20℃的水）
1 额定流量如果介质粘度不同于水，压降应乘以粘度（厘泊）。
单位换算：1巴=100千帕
类型
滤囊总成
应用
化学品
订购信息
LDFN 03 [1] [2] E [3] [4]
表1
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代码 |
滤除精度 |
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GP15 |
15nm |
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GPK |
20nm |
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表2
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代码 |
进口/出口 |
通气口/排液口 |
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062 |
⅜英寸公头 |
¼英寸公头 |
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7 |
⅜英寸母头 |
¼英寸母头 |
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082 |
½英寸公头 |
¼英寸公头 |
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表3
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代码 |
接头 |
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0 |
无接头 |
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1 |
20系列（Flowell） |
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2 |
Super Pillar型（日本Pillar）3 |
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51 |
喇叭口型 |
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71 |
Super Pillar 300P系列（日本Pillar） |
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72 |
Super Pillar 300P系列L型（日本Pillar） |
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表4
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代码 |
预湿选项 |
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K3 |
预湿过滤器（包装在去离子水中） |
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K7 |
预湿过滤器（包装在去离子水中）、低金属可抽出物4 |
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3 Pillar是日本Pillar包装公司的商标。
4 可抽出物条件请联系颇尔。
5 并非始终提供与所有代码组合的部件编号。
请联系颇尔获取部件编号可用性。
分类信息
半导体
检查
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