描述
相较于以前的设计，UltiKleen Excellar ER过滤器具有更高的滤除率（ER）和不去湿特性。这些特性使半导体制造商能够满足22纳米和更高级制造节点的化学过程过滤要求，UltiKleen™ Excellar ER KC总成设计紧凑，可用于关键的单通使用点滤除。过滤器可产生大流量，因此适用于循环槽应用。
KC一次性总成可使用用于较大流量的10英寸（254mm）标称尺寸过滤器1，此处显示的较短UltiKleen Excellar ER KC总成适用于较小流量的使用点和单晶片工具应用。
特点
• 标准为全预润湿供货
• Me-KleenSM选项用于超低金属离子可提取物
• 100%完整性测试
• 专有不去湿表面
• 可选各种接头尺寸
优势
• 不需预润湿和冲洗即可安全快速启动
• 缩短关键清洗过程中的验证时间
• 确保过滤器完整性
• 过滤器避免在除气化学处理中或更换化学品后干燥
• 尺寸匹配现有接头
规格
构成材质
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滤材 |
PTFE |
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滤囊、内芯、网罩和端盖 过滤器背衬层和排液层 密封方法 |
高纯度PFA PTFE 专有熔融密封过程 |
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滤除精度 |
20nm、15nm |
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过滤面积 |
0.9m2/9.7ft2 |
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最高工作温度 |
170°C/338°F |
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最大前向/反向压差（表压）2 |
25°C（77°F）时为0.5MPa（71psi） |
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2 正常运行时不建议施加反向压力
性能
压降及介质流量（20°C的水）3清洁
3额定流量
4非水介质的压差应乘以流体粘度（厘泊）。
单位换算：1巴=0.1MPa
类型
滤囊
用途
过滤
应用
化学品
附加信息
尺寸
分类信息
半导体
检查
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