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UltiKleen™ G3 Excellar ER KC总成 product photo Primary L

UltiKleen™ G3 Excellar ER KC Assemblies

UltiKleen G3 Excellar ER过滤器具有较高的的滤除率（ER）和增强的不去湿性能，可使半导体制造商能够满足45nm以上制造节点的关键化学处理过滤要求。 UltiKleen G3 Excellar ER滤材采用颇尔专有分子表面裁剪（MST）技术制成。高级PTFE滤膜采用超细微孔基材设计，可明显提高深亚微米尺寸颗粒的滤除率。UltiKleen G3 Excellar ER过滤器设计满足关键的单通使用点滤除要求，可产生大流量，因此同样适用于循环槽应用。 颇尔的无化学添加剂MST工艺可提高UltiKleen G3 Excellar ER过滤器在SPM, SC-1和SC-2等水性化学品中的可润湿能力。颇尔还提供先进的超低可溶出物Me-KleenSM K7后处理工艺，可将金属离子溶出物降至较低的个位数总ppb值。 UltiKleen G3 KC总成的直径比UltiKleen G2 KC(T型流）总成稍大，另外还可保持相同的面对面密封距离。由于直径增加，UltiKleen G3 KC总成可装入较大型UltiKleen Excellar ER过滤器，明显增加过滤面积，从而确保流量和使用寿命增加。 特点 • 提高颗粒滤除率（ER） • 超细PTFE滤材基质设计 • 4.4m2/47.4ft2的较大过滤面积 • 大流量 • 全超高纯氟聚合物结构 • 低溶出物量（可选择Me-Kleen） • 标配使用超纯水全润湿 • 下游内芯通气口可减少气泡汇集及过早堵塞
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描述

UltiKleen G3 Excellar ER过滤器具有较高的的滤除率（ER）和增强的不去湿性能，可使半导体制造商能够满足45nm以上制造节点的关键化学处理过滤要求。 UltiKleen G3 Excellar ER滤材采用颇尔专有分子表面裁剪（MST）技术制成。高级PTFE滤膜采用超细微孔基材设计，可明显提高深亚微米尺寸颗粒的滤除率。UltiKleen G3 Excellar ER过滤器设计满足关键的单通使用点滤除要求，可产生大流量，因此同样适用于循环槽应用。 颇尔的无化学添加剂MST工艺可提高UltiKleen G3 Excellar ER过滤器在SPM, SC-1和SC-2等水性化学品中的可润湿能力。颇尔还提供先进的超低可溶出物Me-KleenSM K7后处理工艺，可将金属离子溶出物降至较低的个位数总ppb值。 UltiKleen G3 KC总成的直径比UltiKleen G2 KC(T型流）总成稍大，另外还可保持相同的面对面密封距离。由于直径增加，UltiKleen G3 KC总成可装入较大型UltiKleen Excellar ER过滤器，明显增加过滤面积，从而确保流量和使用寿命增加。 特点 • 提高颗粒滤除率（ER） • 超细PTFE滤材基质设计 • 4.4m2/47.4ft2的较大过滤面积 • 大流量 • 全超高纯氟聚合物结构 • 低溶出物量（可选择Me-Kleen） • 标配使用超纯水全润湿 • 下游内芯通气口可减少气泡汇集及过早堵塞

规格

构成材质

 

滤材：

表面改性PTFE

滤材背衬：

PFA

内芯：

PFA

外部网罩：

PFA

端盖：

PFA

外壳材料：

PFA

 

 

 

滤除精度

20nm

结构

T型流、直列式

标称过滤器面积

4.4m2/47.4ft2

最高工作温度

170ºC/338ºF

最大工作压力

25ºC（77ºF）时为0.49MPaG（71psig）
60ºC（140ºF）时为0.39MPaG（57psig）
90ºC（194ºF）时为0.34MPaG（49psig）
120ºC（248ºF）时为0.20MPaG（29psig）
150ºC（302ºF）时为0.15MPaG（22psig）
170ºC（338ºF）时为0.12MPaG（17psig）

 

尺寸
1英寸直列式
喇叭口型
LDFHN1GPK164E51

1 inch In-Line Flare Style LDFHN1GPK164E51



1英寸直列式
Super Pillar 300P系列
LDFHN1GPK164E71
1 inch In-Line Super Pillar 300P Series LDFHN1GPK164E71


3⁄4英寸T型流
Super Pillar 300P系列
LDFHT1GPK12E71/72
3⁄4 inch T-Flow Super Pillar 300P Series LDFHT1GPK12E71/72


1英寸T型流
Super Pillar 300P系列
LDFHT1GPK16E71/72
1 inch T-Flow Super Pillar 300P Series LDFHT1GPK16E71/72

性能

压降及介质流量1


1英寸T型流、直列式

1 inch T-flow, In-line

3⁄4英寸T型流

3⁄4 inch T-flow

1非水介质的压差应乘以介质粘度（厘泊）。
单位换算：1巴=0.1MPa

类型

总成、滤囊

用途

过滤

应用

化学品

订购信息

颇尔部件编号=LDFH [1] 1GPK [2] E [3] [4]

表1

 

代码

流量

T

T型流

N

直列式

 

表22

 

代码

进口/出口

通气口/排液口

Memo

头端

滤筒端

12

3⁄4英寸公头

1⁄2英寸公头

1⁄2英寸母头

T型流

128

3⁄4英寸公头

1⁄2英寸公头

1⁄2英寸公头

T型流

16

1英寸公头

1⁄2英寸公头

1⁄2英寸母头

T型流

164

1英寸公头

1⁄4英寸公头

1⁄4英寸公头

直列式

168

1英寸公头

1⁄2英寸公头

1⁄2英寸公头

T型流

 

表3

 

代码

接头

2

Super Pillar型（日本Pillar）3

51

喇叭口型

71

Super Pillar 300P系列（日本Pillar）

72

Super Pillar 300P系列L型（日本Pillar）

 

表4

 

代码

预润湿选项

-K3

预湿过滤器（包装在去离子水中）

-K7

预湿过滤器（包装在去离子水中）、低金属可溶出物4

 
2一次性囊式过滤器并非可使用所有选项。请联系颇尔咨询部件编号可用性。
3 Pillar是日本Pillar包装公司的商标。
4 请联系颇尔了解可溶出物条件。

分类信息

半导体

检查

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