描述
规格
材料
- 滤材:PTFE
- 滤芯硬件:高纯度PFA
- 背衬:PTFE
- 外壳材料:高纯度PFA
滤除精度
- 0.1μm、0.05μm
连接
进口、出口/通气、排液
- 3⁄4英寸喇叭口型插头/1⁄4英寸喇叭口型插头
- 3⁄4英寸Super Pillar2S300插孔/ 1⁄2英寸Super Pillar2S300插孔
工作条件
- 最大前向压差:
50°C时为5.5巴/120°F时为80psid - 最大反向压差:
20°C时为3.5巴/68°F时为50psid
1咨询颇尔微电子,了解90°C以上热磷酸或热硫酸、SPM的相关建议。
2Pillar是Pillar包装公司的商标。
性能
压降与介质流量4
总成温度与允许压力
4对于粘度不同于水的液体,压降应乘以粘度(厘泊)。
类型
用途
应用
附加信息
使用建议
- 可选预湿(-K3)
- 如果未选择预湿选项,则应遵守正确的润湿程序。在接触化学品前,需完全清洗掉IPA或其它低表面张力润湿液体。
- 必须能够适当通气
- 系统应设计脉冲缓冲
尺寸
订购信息
部件编号5,6 |
滤除精度 |
连接进口、出口/通气、排液 |
标称长度 |
LDFN1FLHF10012E51 |
0.1 |
3⁄4英寸喇叭口型插头/1⁄4英寸喇叭口型插头 |
387 / 15.2 |
LDFN1FLHF10012E51-K3 |
0.1 |
3⁄4英寸喇叭口型插头/1⁄4英寸喇叭口型插头 |
387 / 15.2 |
LDFN1CFLHF10012E51-K3 |
0.1 |
3⁄4英寸喇叭口型插头/1⁄4英寸喇叭口型插头 |
387 / 15.2 |
LDFN09FLHF10012E51-K3 |
0.1 |
3⁄4英寸喇叭口型插头/1⁄4英寸喇叭口型插头 |
356 / 14 |
LDFN09CFLHF10012E51-K3 |
0.1 |
3⁄4英寸喇叭口型插头/1⁄4英寸喇叭口型插头 |
356 / 14 |
LDFN05FLHF10013E71-K3 |
0.1 |
3⁄4英寸Super Pillar S300插孔/1⁄2英寸Super Pillar S300插孔 |
248 / 9.8 |
LDFN05CFLHF10013E71-K3 |
0.1 |
3⁄4英寸Super Pillar S300插孔/1⁄2英寸Super Pillar S300插孔 |
248 / 9.8 |
LDFN1FLHF05012E51 |
0.05 |
3⁄4英寸喇叭口型插头/1⁄4英寸喇叭口型插头 |
387 / 15.2 |
LDFN1FLHF05012E51-K3 |
0.05 |
3⁄4英寸喇叭口型插头/1⁄4英寸喇叭口型插头 |
387 / 15.2 |
LDFN1CFLHF05012E51-K3 |
0.05 |
3⁄4英寸喇叭口型插头/1⁄4英寸喇叭口型插头 |
387 / 15.2 |
LDFN09FLHF05012E51-K3 |
0.05 |
3⁄4英寸喇叭口型插头/1⁄4英寸喇叭口型插头 |
356 / 14 |
LDFN09CFLHF05012E51-K3 |
0.05 |
3⁄4英寸喇叭口型插头/1⁄4英寸喇叭口型插头 |
356 / 14 |
LDFN05FLHF05013E71-K3 |
0.05 |
3⁄4英寸Super Pillar S300插孔/1⁄2英寸Super Pillar S300插孔 |
248 / 9.8 |
LDFN05CFLHF05013E71-K3 |
0.05 |
3⁄4英寸Super Pillar S300插孔/1⁄2英寸Super Pillar S300插孔 |
248 / 9.8 |
5部件编号末尾的"K3”用于添加预湿选项。
6对于超洁净低金属可抽出选项,在总成长度(1、09、05)后面添加“C”。
单位转换:1巴=100千帕
分类信息
检查
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