Ultipleat ME过滤器专门设计用于当今的HF和BOE循环槽处理，在深层亚微米过滤过程中可产生大流量。颇尔专有高不对称膜和新月形Ultipleat过滤器实现独特组合，可比早期设计增加约50%的流量。这种突破性技术可实现最精细的过滤，从而最大程度降低对有限泵送能力的要求。因此，可实现快速启动，增加颗粒滤除，减少微泡产生，提高循环槽质量。 在环境温度下运行时，Ultipleat ME过滤器可用于各种HF蚀刻溶液和半水性去光阻剂1。强烈建议用于使用表面活性剂和小马力内置泵的SiO2蚀刻。当用于不使用表面活性剂和使用较高马力泵的SiO2蚀刻时，Ultipleat ME过滤器将压湿。 • 优异的滤除特性 • 极高流量 • 循环槽快速周转 • 低溶出物量 • 可选超低金属离子可提取物 • 100%通过完整性测试 • 不需进行IPA预润湿 • 在洁净室环境中生产 1 安装前应测试确定Ultipleat ME过滤器的相容性。