Gaskleen® 6101系列过滤器总成 product photo Primary L

Gaskleen® 6101 Series Filter Assembly

Gaskleen® 6101系列过滤器总成设计用于过滤≥3纳米(0.003微米)的工艺气体。 • 316L不锈钢电解抛光滤壳 • Emflon® PTFE滤膜 • 可选标准和短型版本 • 可选各种配件 • 紧凑尺寸(2.2英寸/56毫米直径),易于安装 • 100%通过完整性测试 • 洁净腔生产和包装 • 100%氦气防漏检测


Contact Us
* 必填项

描述

Gaskleen® 6101系列过滤器总成设计用于过滤≥3纳米(0.003微米)的工艺气体。 • 316L不锈钢电解抛光滤壳 • Emflon® PTFE滤膜 • 可选标准和短型版本 • 可选各种配件 • 紧凑尺寸(2.2英寸/56毫米直径),易于安装 • 100%通过完整性测试 • 洁净腔生产和包装 • 100%氦气防漏检测

规格

 

材料

  • 电解抛光316L不锈钢滤壳
  • ≤25微英寸/0.64微米Ra内表面处理
  • Emflon滤膜:100%通过完整性测试
    滤膜:PTFE
    内芯和端盖:聚丙烯
    O型圈:Teflon1包封Viton1

滤除精度

  • ≥003μm

过滤面积

  • 464cm2/0.5ft2

接头

  • 14英寸垫片密封件,凸形(VCR2或相容)
  • 14英寸压缩密封件(Swagelok2或相容)
  • 38英寸垫片密封件,凸形(VCR或相容)
  • 38英寸压缩密封件(Swagelok或相容)
  • 14英寸管内螺纹

工作条件

  • 最大工作压力:176°F时为750psig/80°C时为52巴
  • 最大前向压差:70°F时为100psid/21°C时为7巴
  • 最大反向压差:70°F时为50psid/21°C时为4巴

额定泄漏值

  • 进行100% 1x10-7atmcm3/s氦气泄漏测试
  • 进行10-9atmcm3/s设计验证

包装

  • 双层包装
  • 外包装袋:镀铝聚酯薄膜
  • 内包装袋:聚乙烯
  • N2吹洗

1TeflonViton是杜邦陶氏弹性体公司的商标。
2VCRSwagelokSwagelok公司的商标。

性能

压降与气体流量

接头尺寸:0.25英寸

Connection Size: .25 in.

接头尺寸:0.375

Connection Size: .375 in.

类型

总成

用途

过滤

应用

工艺气体过滤

订购信息

 

 

 

部件编号

描述

长度(L
(英寸/mm

GLF6101VM4

Gaskleen、14英寸垫片密封件(VCR或相容)凸/凸

5.56 / 141

GLF6101VM6/8

Gaskleen、38英寸垫片密封件(VCR或相容)凸/凸

5.81 / 148

GLF6101VFM4

Gaskleen、14英寸垫片密封件(VCR或相容)凹/凸

5.81 / 148

GLF6101SM4S

Gaskleen、14英寸压缩密封件(Swagelok或相容)凸/凸

5.56 / 141

GLF6101SM6S

Gaskleen、38英寸压缩密封件(Swagelok或相容)凸/凸

5.81 / 147

GLF6101SM8

Gaskleen、12英寸压缩密封件(Swagelok或相容)凸/凸

4.38 / 111

GLF6101FP4

Gaskleen 14英寸凹NPT

5.19 / 132

SGLF6101VM4M

短型Gaskleen、14英寸垫片密封件(VCR或相容)凸/凸

5.00 / 127

SGLF6101VM4

短型Gaskleen、14英寸垫片密封件(VCR或相容)凸/凸

4.94 / 126

SGLF6101VM6/8M

短型Gaskleen、38英寸垫片密封件(VCR或相容)凸/凸

5.00 / 127

SGLF6101SM4S

短型Gaskleen、14英寸压缩密封件(Swagelok或相容)凸/凸

4.19 / 106

SGLF6101SM6S

短型Gaskleen、38英寸压缩密封件(Swagelok或相容)凸/凸

5.00 / 127

 

单位换算:1巴=100千帕

分类信息

半导体、显示器

检查

Earn 10% off* your next order online by leaving a review of this product. Please login to your account to leave a review. We appreciate and value your feedback.

*Subject to Terms and Conditions.