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SGH滤壳 product photo Primary L

SGH Filter Housing

SGH滤壳设计用于半导体工业中的超高纯大宗气体应用。 • 清洁的“扫描管”设计 • 易于更换滤芯 • 可选三种滤筒长度 • 可选3轮或12轮结构 • 贯穿螺栓闭合 • 7号（-226双O型圈、带锁环和翼端）滤芯端头
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描述

SGH滤壳设计用于半导体工业中的超高纯大宗气体应用。 • 清洁的“扫描管”设计 • 易于更换滤芯 • 可选三种滤筒长度 • 可选3轮或12轮结构 • 贯穿螺栓闭合 • 7号（-226双O型圈、带锁环和翼端）滤芯端头

规格

材料

滤材

全316L不锈钢

内表面处理

电解抛光

表面处理选项

≤0.25μm（10微英寸）或≤0.63微米（25微英寸）Ra

O型圈密封件

氟橡胶


接头

3轮
  • 2英寸（0.065英寸壁）或3英寸（0.065英寸壁）对接焊缝管
  • 冲洗接头：1⁄2英寸垫片密封件，公头（VCR1或相容）
  • 排气口：1⁄2英寸垫片密封件，公头（VCR1或相容）

12轮
  • 3英寸（0.065英寸壁）或4英寸（0.083英寸壁）对接焊缝管
  • 冲洗接头：1⁄2英寸垫片密封件，公头（VCR1或相容）
  • 排气口：1⁄2英寸垫片密封件，公头（VCR1或相容）
  • 排放口：1⁄2英寸垫片密封件，公头（VCR1或相容）


工作条件

最大允许工作压力
  • 3轮：
    • 93˚C时为1.72MPa/200˚F时为250psig
  • 12轮：
    • 38˚C时为1.24MPa/100˚F时为180psig
    • 93˚C时为1.17MPa/200˚F时为170psig


认证

欧洲压力设备指令

根据欧盟压力设备指令第97/23/EU号对壳体合规性进行评估并通过CE认证。

ASME

根据ASME BPVC第VIII节第1部分（包括最新附录）进行壳体设计、生产和冲压


额定泄漏值

  • 进行100% 10-8 atmcm3/s的氦气泄漏测试

类型

滤壳

用途

过滤

应用

工艺气体过滤、工艺气体过滤

附加信息

尺寸

Dimensions

 

滤芯数

过滤长度

标称长度（L1）
（mm/英寸）

标称直径（D）
（mm/英寸）

端面间尺寸（L2）
（mm/英寸）

SG[ ]H32

3

508/20

1,295/51

219/8.63

508/20

SG[ ]H33

3

762/30

1,549/61

219/8.63

508/20

SG[ ]H34

3

1,016/40

1,803/71

219/8.63

508/20

SG[ ]H122

12

508/20

1,549/61

356/14

768/30.25

SG[ ]H123

12

762/30

1,803/71

356/14

768/30.25

SG[ ]H124

12

1,016/40

2,057/81

356/14

768/30.25

有关特定滤壳部件编号的详细尺寸，请联系颇尔微电子。

订购信息

SG [1] H [2] [3] G7BW [4] - [5]

表1

代码

内表面处理

空白

≤0.63μm/25μ英寸Ra

L

≤0.25μm/10μ英寸Ra

表2

代码

每个滤壳的滤芯数

3

3轮

12

12轮

表3

代码

标称滤芯长度
（mm/英寸）

2

508/20

3

762/30

4

1,016/40

表4

代码

进口/出口接头

32

2英寸管x0.065壁

48

3英寸管x0.065壁

64

4英寸管x0.083壁

表5

代码

压力容器标准

空白

ASME标准、U型冲压

CE

CE认证

分类信息

光伏、半导体

检查

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