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Ultramet-L®6600系列过滤器总成 product photo Primary L

Ultramet-L® 6600 Series Filter Assembly

Ultramet-L® 6600系列过滤器总成是一种全316L不锈钢过滤器，设计用于过滤≥3nm（0.003μm）的半导体工艺气体。 • 全316L型不锈钢结构 • 最先进的316L不锈钢滤材 • 预处理至超清洁水平 • 总成尺寸可实现极高流量 • 优异的气体置换和解吸特性 • 耐高温高压能力 • 100%氦气防漏检测 • 洁净室生产和包装 • CE认证符合PED 97/23/EC要求
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描述

Ultramet-L® 6600系列过滤器总成是一种全316L不锈钢过滤器，设计用于过滤≥3nm（0.003μm）的半导体工艺气体。 • 全316L型不锈钢结构 • 最先进的316L不锈钢滤材 • 预处理至超清洁水平 • 总成尺寸可实现极高流量 • 优异的气体置换和解吸特性 • 耐高温高压能力 • 100%氦气防漏检测 • 洁净室生产和包装 • CE认证符合PED 97/23/EC要求

规格

 

材料

  • 电解抛光316L不锈钢外壳
  • 316L不锈钢滤材1
  • 内表面处理；6601: ≤10μ英寸/0.25mm Ra/6602: ≤7μm R最大值
  • Cr:Fe（≥1:1）富铬内表面化学
  • VAR PLUS滤壳材料满足或超过典型VIM/VAR规范要求
  • 滤壳材料满足或超过VIM/VAR规范要求

滤除精度

  • ≥003μm

预处理清洁度

  • 产生<10ppb的水分（根据SEMASPEC试验方法#90120397B-STD验证）
  • 产生<10ppb的THC（根据SEMASPEC试验方法#90120396B-STD验证）
  • 产生<10ppb的氧气（根据SEMASPEC试验方法#90120398B-STD验证）
  • 超过背景的颗粒数≤1个/（英尺3或m3）

接头

  • 1⁄2英寸垫片密封件，公头/公头（VCR2或相容）

工作条件

  • 最大工作压力：
    • 100°F时为750psig/38°C时为52巴
    • 800°F时为550psig/426°C时为38巴，仅惰性气体
  • 最大前向压差:
    • 68°F时为30psid/20°C时为2巴
    • 800°F时为15psid/426°C时为1巴，仅惰性气体

颗粒滤除特性

  • 以高达320slpm/11.3scfm的流量滤除109的颗粒

泄漏额定值

  • 进行100% 1x10-9 atmcm3/s的氦气泄漏测试
  • 进行10-11 atmcm3/s的设计验证

1 6600系列过滤器总成可提供镍过滤器。如欲了解更多信息，请联系颇尔微电子。
2 VCR是Swagelock公司的注册商标。

性能

压降与气体流量

76Mm Ultramet-L总成

76 mm Ultramet-L Assemblies

类型

总成

用途

过滤

应用

工艺气体过滤

订购信息

部件编号

描述

长度（L）
（英寸/mm）

直径（D）
（英寸/mm）

GLFF6601VMM8

1⁄2英寸垫片密封件（VCR或相容）公头/公头，
≤10μ英寸/0.25mm Ra

6.06/154

3.02/76.7

GLFF6602VMM8

1⁄2英寸垫片密封件（VCR或相容）公头/公头，
≤0.7μm R最大值

6.06/154

3.02/76.7

单位换算：1巴=100千帕

分类信息

半导体

检查

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