描述
Micro Kleen-Change®气体过滤器总成设计用于低压超高纯度的使用点气体应用。该全氟聚合物总成的全氟聚合物滤芯可焊入全PFA滤壳内，因此无需使用金属部件和弹性体密封件。
• 全氟聚合物滤芯
• 无弹性密封件
• 宽泛的化学相容性
• 理想适用于腐蚀性环境/地点
• 无需使用金属部件
• 洁净腔生产和包装
• 100%通过完整性测试
建议应用
• 低压氮气
• 光刻跟踪工具
规格
材料
- 滤膜：PTFE
- 外壳、内芯和端盖：PFA440HP
滤除精度
- ≥003μm
过滤面积
- 5cm2/2.1英寸2
接口：进口/出口
- 1⁄8英寸Swagelok1、公头/公头
工作条件
- 最大工作压力：77°F时为58psi/25°C时为4巴
包装
- 双层包装
- N2吹洗
性能
压降与气体流量
类型
总成
用途
过滤
应用
工艺气体过滤
附加信息
尺寸
订购信息
|
部件编号 |
描述 |
长度（L）（英寸/mm） |
|
GDF3101SW2 |
1⁄8英寸Swagelok配件、进口/出口公头 |
2.9/73 |
单位换算：1巴=100千帕
分类信息
半导体
检查
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