描述
Ultramet-L® 4000系列过滤器总成是一种独特的全316L不锈钢过滤器，设计用于过滤≥3nm（0.003μm）的半导体工艺气体。
• 全316L不锈钢结构
• 最先进的316L不锈钢滤材
• 优异的颗粒滤除效率与压降
• 总成尺寸可实现极高流量
• 优异的气体置换和解吸特性
• 耐高温高压能力
• 小尺寸，易于安装
• 可选各种配件
• 100%氦气防漏检测
• 洁净室生产和包装
• VAR PLUS滤壳材料满足或超过VIM/VAR规范要求
规格
材料
- 电解抛光316L不锈钢外壳
- ≤7微英寸/0.18微米Ra内表面处理
- Cr:Fe（≥1:1）富铬内表面化学
- 滤壳材料满足或超过VIM/VAR规范要求
- 316L不锈钢滤材
额定滤除精度
- ≥003μm
接头
- 1⁄4英寸、1⁄2英寸垫片密封件（VCR1或相容）公头/公头
- 1⁄4英寸压缩密封件（Swagelok1或相容）公头/公头
- 1⁄4英寸对头焊接（035英寸/0.89 mm壁）
工作条件
- 最大工作压力：
- 100°F时为3000psi/38°C时为207巴
- 840 °F时为1685psi/450 °C时为116巴
- 最大允许压差
- 100°F时为125psi/38°C时为6巴
- 840 °F时为60psi/450 °C时为1巴
颗粒滤除特性
- 以高达6slpm/0.2scfm的流量滤除109的颗粒
- 以高达75slpm/2.6scfm的流量滤除104的颗粒
泄漏额定值
- 进行100% 10-9 atmcc/s的氦气泄漏测试
- 进行10-11 atmcm3/s的设计验证
1 VCR和Swagelok是Swagelok公司的商标。
性能
压降与气体流量
类型
总成
用途
过滤
应用
工艺气体过滤
附加信息
尺寸
订购信息
|
部件编号 |
描述 |
长度（L） |
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GLFF4000VM4 |
1⁄4英寸垫片密封件（VCR或相容）公头/公头 |
3.31/84（L1） |
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GLFF4000SM4 |
1⁄4英寸压缩密封件，（Swagelok或相容）公头/公头 |
2.88/73（L1） |
|
GLFF4000BW4 |
1⁄4英寸对头焊接，0.035英寸/0.89mm壁 |
1.75/45（L2） |
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GLFF4000VMM8 |
1⁄2英寸垫片密封件（VCR或相容）公头/公头 |
3.35/85（L1） |
单位换算：1巴=100千帕
分类信息
半导体
检查
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