描述
Gasket-Sert过滤器设计用于保护半导体气体分散系统所用气体显示屏的主要部件。
• 真正的在线设计且易于安装
• 适于替代标准0.25英寸VCR垫片
• 可选316L或Hastelloy C-22材质
• 垫片材料为Nickel 200
• 可兼容各种工艺气体
• 低压差
• 全金属构成
• 高纯氮气干燥
• 洁净室封装
• 无超过背景的颗粒
• 不需滤壳
• 改造现有屏不需重构系统
• 零位移
• 保护稳压器和MFC
规格
材料
- 滤材：316L或Hastelloy C-22
- 垫片：Nickel 200
滤除精度
- ≥4μm
工作条件
- 建议流量范围：0-10 SCFM/0-280 slpm
- 最高工作温度：
- 非腐蚀性气体840°F/450°C
- 腐蚀性气体：70°F/21°C
- 最大压差：
- 840°F时为400psi/450°C时为27巴
- 100°F时为750psi/38°C时为52巴
性能
压降与气体流量
类型
总成
用途
过滤
应用
工艺气体过滤
附加信息
尺寸
订购信息
|
部件编号 |
构成材质 |
配件类型 |
|
CNL3004VNG4 |
316L不锈钢滤材、Nickel 200垫片 |
1⁄4英寸VCR |
|
CNC3004VNG4 |
Hastelloy C-22滤材、Nickel 200垫片 |
1⁄4英寸VCR |
单位换算：1巴=100千帕
分类信息
半导体
检查
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