Maxi Gaskleen® 8202/9202系列过滤器总成 product photo Primary L

Maxi Gaskleen® 8202/9202 Series Filter Assembly

Maxi Gaskleen过滤器组件专门设计用于大流量应用的≥3纳米(0.003μm)过滤。8202系列组件设计用于处理最高30scfm/850slpm的流量,而9202系列组件可处理最高50scfm/1416slpm的流量。 • 316L不锈钢电解抛光滤壳 • 可选Emflon®或Emflon PF滤芯 • 高温和高压能力 • 可选2种配件 • 紧凑尺寸(63.5mm/2.5英寸直径),易于安装 • 100%通过完整性测试 • 洁净腔生产和包装 • 100%氦气防漏检测


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描述

Maxi Gaskleen过滤器组件专门设计用于大流量应用的≥3纳米(0.003μm)过滤。8202系列组件设计用于处理最高30scfm/850slpm的流量,而9202系列组件可处理最高50scfm/1416slpm的流量。 • 316L不锈钢电解抛光滤壳 • 可选Emflon®或Emflon PF滤芯 • 高温和高压能力 • 可选2种配件 • 紧凑尺寸(63.5mm/2.5英寸直径),易于安装 • 100%通过完整性测试 • 洁净腔生产和包装 • 100%氦气防漏检测

规格

 

材料

  • 电解抛光316L不锈钢滤壳
  • ≤25μm/10微英寸Ra的内表面处理

滤芯选项

  • Emflon滤材:
    • PTFE内芯、网罩和端盖:聚丙烯
    • O型圈:Teflon1包封Viton1
  • Emflon PF滤材:
    • PTFE内芯、网罩和端盖:PFA 440HP
    • O型圈:包封特氟龙的氟橡胶

滤除精度

  • ≥3nm

过滤面积

  • 15m2/1.6ft2/GLF8202总成
  • 09m2/1.0ft2/GLFPF8202总成
  • 30m2/3.2ft2/GLF9202总成
  • 20m2/2.1ft2/GLFPF9202总成

接头

  • 12英寸垫片密封件,公头(VCR2或相容)
  • 12英寸对头焊接(24mm/0.049英寸壁厚)
  • 34英寸对头焊接(65mm/0.065英寸壁厚)

工作条件

  • 最大工作压力:250psig/17巴
  • 最高工作温度:
    • Emflon滤芯:176°F/80°C
    • Emflon PF滤芯:250°F/121°C
  • 最大前向压差:
    • 50°C时为55MPa/120°F时为80psid
    • 80°C时为35MPa/176°F时为50psid
  • 最大反向压差:21°C时为34MPa/70°F时为50psid

额定泄漏值

  • 进行100% 1x10-9atmcm3/s的氦气泄漏测试
  • 进行10-11atmcm3/s的设计验证

包装

  • 双层包装
    • 外包装袋:镀铝聚酯薄膜
    • 内包装袋:聚乙烯
  • N2吹洗

1TeflonViton是杜邦公司的商标。
2VCRSwagelok公司的商标。

性能

压降与气体流量

Maxi Gaskleen 9202系列过滤器总成

Maxi Gaskleen 9202 Series Assembly

Maxi Gaskleen 8202系列过滤器总成

Maxi Gaskleen 8202 Series Assembly

类型

过滤胶囊

用途

过滤

应用

工艺气体过滤

附加信息

尺寸

代码 BW8 & BW12

Code BW8 & BW12

代码VMM8

Code VMM8

订购信息

 

部件编号

描述

长度(L
mm/英寸)

GLFPF8202VMM8

Emflon PF滤芯、12英寸垫片密封件(VCR或相容)公头/公头

197/7.75

GLFPF8202BW8

Emflon PF滤芯、12英寸对头焊接、1.24mm/0.049英寸壁厚

197/7.75

GLF8202VMM8

Emflon滤芯、12英寸垫片密封件(VCR或相容)公头/公头

197/7.75

GLF8202BW8

Emflon滤芯、12英寸对头焊接、1.24mm/0.049英寸壁厚

197/7.75

GLFPF9202BW8

Emflon PF滤芯、12英寸对头焊接、1.24mm/0.049英寸壁厚

295/11.61

GLFPF9202BW12

Emflon PF滤芯、34英寸对头焊接、1.65mm/0.065英寸壁厚

295/11.61

GLFPF9202VMM8

Emflon PF滤芯、12英寸垫片密封件(VCR或相容)公头/公头

258 / 10.14

GLF9202VMM8

Emflon滤芯、12英寸垫片密封件(VCR或相容)公头/公头

258/10.14

单位换算:1巴=100千帕

 

分类信息

半导体

检查

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