描述
规格
材料
- 电解抛光316L不锈钢滤壳
- 滤壳材料满足或超过VIM/VAR规范要求
- 欧洲压力设备指令：根据欧盟压力设备指令第2014/68/EU号对总成进行评估和设计，未进行CE认证
- ≤13μm/5微英寸Ra的内表面处理
- Cr:Fe（1:1）富铬滤壳内表面化学
- 316L不锈钢或镍质滤材
滤除精度
- ≥3nm
1102系列预处理选项
- 产生<10ppb的水分（根据SEMASPEC试验方法#90120397B-STD验证）
- 产生<10ppb的THC（根据SEMASPEC试验方法#90120396B-STD验证）
- 产生<10ppb的O2（根据SEMASPEC试验方法#90120398B-STD验证）
- 无超过背景的颗粒，≤1个颗粒/m3或立方英尺
接头
- 1⁄4英寸垫片密封件（VCR1或相容）
- 1⁄4英寸对头焊接（89mm/0.035英寸壁厚）
工作条件
- 最大工作压力：
- 38°C时为7Mpa/100°F时为3,000psig
- 450°C时为6Mpa/840°F时为1,685psig
- 最大允许压差：
316L不锈钢过滤器：- 38°C时为86MPa/100°F时为125psid
- 450°C时为41MPa/840°F时为60psid
镍质过滤器：
- 38°C时为69MPa/100°F时为100psid
- 450°C时为41MPa/840°F时为60psid
颗粒滤除特性
- 以高达15slpm的流量滤除109的颗粒
额定泄漏值
- 进行100% 10-9atmcm3/s的氦气泄漏测试
- 进行10-11atmcm3/s的设计验证
性能
压降与气体流量
316L不锈钢过滤器总成
镍质过滤器总成
类型
用途
应用
附加信息
尺寸
订购信息
|
部件编号 |
描述 |
配件类型 |
长度（L） |
预处理 |
|
GLFF1100VMM4 |
全316L不锈钢 |
1⁄4英寸垫片密封件（VCR或相容）公头/公头 |
84/3.31 |
否 |
|
GLFF1100VMM4BJ |
全316L不锈钢 |
1⁄4英寸垫片密封件（VCR或相容）公头/公头 |
84/3.31 |
否 |
|
GLFF1100VFM4 |
全316L不锈钢 |
1⁄4英寸垫片密封件（VCR或相容）进口母头/出口公头 |
88/3.47 |
否 |
|
GLFF1100BW4 |
全316L不锈钢 |
1⁄4英寸对头焊接，0.89mm/0.035英寸壁厚 |
42.5/1.75 |
否 |
|
GLFF1102VMM4 |
全316L不锈钢 |
1⁄4英寸垫片密封件（VCR或相容）公头/公头 |
84/3.31 |
是 |
|
GLFN1100VMM4 |
镍质滤材，316L不锈钢滤壳 |
1⁄4英寸垫片密封件（VCR或相容）公头/公头 |
84/3.31 |
否 |
|
GLFN1100VMF4 |
镍质滤材，316L不锈钢滤壳 |
1⁄4英寸垫片密封件（VCR或相容），进口公头/出口母头 |
71.1/2.80 |
否 |
|
GLFN1100BW4 |
镍质滤材，316L不锈钢滤壳 |
1⁄4英寸对头焊接（0.89mm/0.035英寸壁厚） |
42.5/1.75 |
否 |
|
GLFN1102VMM4 |
镍质滤材，316L不锈钢滤壳 |
1⁄4英寸垫片密封件（VCR或相容）公头/公头 |
84/3.31 |
是 |
单位换算：100千帕=1巴
分类信息
检查
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