描述
Mini Gaskleen大流量过滤器总成设计用于超高纯使用点气体过滤应用。独特的过滤器设计能够比以前相同结构实现高得多的流量能力。
• 316L不锈钢电解抛光滤壳
• 全氟聚合物滤芯
• 宽泛的化学相容性
• 高温和高压能力
• 小尺寸，易于安装
• 100%通过完整性测试
• 洁净腔生产和包装
• 100%氦气防漏检测
• 滤壳满足或超过VIM/VAR规范要求
规格
材料
- 滤材：PTFE
- 内芯：PFA
- O型圈：包封FEP的氟橡胶
- 电解抛光316L不锈钢外壳材料
- VAR PLUS滤壳满足或超过典型VIM/VAR规范要求
- 内表面处理≤13μm/5微英寸Ra（密封圈和对头焊接接头）≤0.15μm/20微英寸Ra（压缩接头）
- Cr:Fe（1:1）富铬内表面化学
滤除精度
- ≥3nm
3102系列预处理选项
- 产生<10ppb的水分（根据SEMASPEC试验方法#90120397B-STD验证）
- 产生<10ppb的THC（根据SEMASPEC试验方法#90120396B-STD验证）
- 产生<10ppb的氧气（根据SEMASPEC试验方法#90120398B-STD验证）
- 无超过背景的颗粒，≤1个颗粒/（m3或英尺3）
过滤面积
- 5cm2/0.015英尺2
接头
- 1⁄4英寸垫片密封件（VCR1或相容）
- 1⁄4英寸对头焊接（035英寸壁厚）
- 1⁄4英寸压缩密封（Swagelok1或相容）
工作条件
- 最大工作压力：121°C时为7Mpa/250°F时为3000psig
- 最大前向压差：21°C时为55MPa/70°F时为80psid
- 最大反向压差：21°C时为34MPa/70°F时为50psid
- 欧洲压力设备指令：根据欧盟压力设备指令第97/23/EU号对组件进行评估和设计，未进行CE认证。
额定泄漏值
- 进行100% 1x10-9atmcm3/s的氦气泄漏测试
- 进行10-11atmcm3/s的设计验证
1VCR和Swagelok是Swagelok公司的注册商标。
性能
压降与气体流量
类型
总成
用途
过滤
应用
工艺气体过滤
附加信息
尺寸
订购信息
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部件编号 |
描述 |
长度（L） |
预处理 |
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GLFPF3101VMM4 |
1⁄4英寸垫片密封件（VCR或相容）公头/公头 |
84/3.31 |
否 |
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GLFPF3101BW4 |
1⁄4英寸对头焊接（0.035英寸壁厚） |
90/3.54 |
否 |
|
GLFPF3101SM4 |
1⁄4英寸压缩密封件，进口/出口公头（与Swagelok相容） |
73/2.88 |
否 |
|
GLFPF3101VFM4 |
1⁄4英寸垫片密封件（VCR或相容）进口母头/出口公头 |
88/3.47 |
否 |
|
GLFPF3101VMF4 |
1⁄4英寸垫片密封件（VCR或相容）进口公头/出口母头 |
100/3.94 |
否 |
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GLFPF3102VMM4 |
1⁄4英寸垫片密封件（VCR或相容）公头/公头 |
84/3.31 |
是 |
|
GLFPF3111VMM4 |
1⁄4英寸垫片密封件（VCR或相容）公头/公头 |
127/5.00 |
否 |
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单位换算：1巴=100千帕
分类信息
半导体
检查
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