描述
Gasket-Sert PSP W封过滤器设计用于保护半导体气体分散系统所用气体显示屏的主要部件，W封垫片易于装至使用W封型部件的系统中。
有关该产品的详细信息，请参考数据表。（可从以上菜单中选择下载该数据表的PDF版本。）。
特性 优点 价值
焊至W封垫片 过滤器可以更换任何W封垫片 降低安装成本
含有对准固定器 操作员最少操作即可
轻松装至系统中 降低人力成本
全不锈钢结构 可兼容各种半导体
工艺气体 使用寿命较长
不需滤壳 无滞留体积、
零气体置换 启动更快
洁净室封装 高清洁度 启动更快
0.4微米颗粒
滤除精度 过滤器保护稳压器和MFC
等关键部件 降低拥有成本
低压差 大流量，
最少流量限制 使用寿命较长
规格
润湿材料
- 滤材：316L不锈钢（过滤器和垫片）
滤除精度1
- ≥4μm者的效率为99.9%
工作条件
- 最高工作温度惰性气体：300˚C/572˚F 无水腐蚀性气体：30˚C/86˚F
- 最大压差由内向外：38˚C时为7MPa/100˚F时为100psid 由外向内：38˚C时为1.4MPa/100˚F时为200psid
1颗粒精度基于NaCl气溶胶的实验室测试。
性能
压降与气体流量
类型
滤筒和滤芯
用途
过滤
应用
工艺气体过滤
附加信息
尺寸
订购信息
|
部件编号 |
润湿构成材料 |
配件类型 |
|
CNF1104UPSG2 |
全316L不锈钢 |
11⁄8英寸W封垫片 |
单位换算：100千帕=1巴
分类信息
半导体
检查
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