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Gaskleen® TM 1 1/2” W封过滤器总成 product photo Primary L

Gaskleen® TM Filter Assemblies 1 1/2'' W-Seal

颇尔的Gaskleen顶装式（TM）过滤器总成设计用于过滤≥3nm的半导体工艺气体。该顶装式过滤器非常适用于集成供气系统，易于操作和更换。 • 电解抛光316L不锈钢滤壳 • 最先进的316L不锈钢滤材 • 高温和高压能力 • 优异的气体置换和解吸特性 • 100%氦气防漏检测 • 在洁净室内生产和包装 • 总成顶部可选1⁄4英寸的VCR1口，用于安装压力表或其它部件 • 采用颇尔专有工艺，提高耐腐蚀性 1 VCR是Swagelok公司的注册商标。
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描述

颇尔的Gaskleen顶装式（TM）过滤器总成设计用于过滤≥3nm的半导体工艺气体。该顶装式过滤器非常适用于集成供气系统，易于操作和更换。 • 电解抛光316L不锈钢滤壳 • 最先进的316L不锈钢滤材 • 高温和高压能力 • 优异的气体置换和解吸特性 • 100%氦气防漏检测 • 在洁净室内生产和包装 • 总成顶部可选1⁄4英寸的VCR1口，用于安装压力表或其它部件 • 采用颇尔专有工艺，提高耐腐蚀性 1 VCR是Swagelok公司的注册商标。

规格

 

材料

  • 电解抛光316L不锈钢滤壳
  • Cr:Fe (1:1)富铬内表面化学≤7μmR最大的内表面处理

滤除精度

  • ≥3nm

颗粒滤除特性

  • 以5 slpm的额定流量滤除109
  • 以15 slpm的额定流量滤除106
  • 以30 slpm的额定流量滤除104

接头

  • W封、11⁄2英寸接口

额定泄漏值

  • 进行100% 1x10-9atmcm3/s的氦气泄漏测试
  • 进行10-11atmcm3/s的设计验证

工作条件

  • 最大工作压力：40°C时为97Mpa/104°F时为140psig
  • 最大允许压差：40°C时为69MPa/104°F时为100psid

性能

压降与气体流量

F3200

F3200

类型

总成

用途

过滤

应用

工艺气体过滤

附加信息

尺寸

GTM-3200F4A

GTM-3200F4A

GTMF3200F4A-VM4

GTMF3200F4A-VM4

订购信息

 

部件编号

描述1

高度（H）
（mm/英寸）

设计流量
（slpm）

GTMF3200F4A

全316L不锈钢

42/1.65

0-30

GTMF3200F4A-VM4

全316L不锈钢
1⁄4英寸VCR口

60/2.36

0-30

1欲获取其它配置，请联系颇尔微电子。

 

 

分类信息

半导体

检查

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