PhotoKleen™ EZD-3X囊式过滤器 product photo Primary L

PhotoKleen™ EZD-3X Filter Capsules

PhotoKleen™ EZD-3X过滤器设计用于占空用空间最少的小型分配系统。PhotoKleen™ EZD-3XL过滤器的过滤面积是PhotoKleen™ EZD-3X过滤器的几乎两倍,可在过滤期间降低压降。因此,过滤期间压降减小,或在相同压降下实现更精细的过滤效果。可选两种滤材类型:不对称尼龙6,6和HDPE。天然亲水性尼龙6,6膜能够自发润湿,结果显示其极性可减少图案化晶圆的缺陷。XP选项可用于高级光刻工艺。 特性和优势 • 相同尺寸滤囊产生2倍的过滤面积(参见PhotoKleen™ EZD-3过滤器) • 易更换式过滤总成 • 可选两种膜材料 • 滞留体积最小,顶进/顶出流向,侧面导管用于层流灌充 • 压降较低,可提高流体粘度 • 延长过滤器更换间隔时间,缩短工具故障时间 • 优化用于目标应用的滤材选择 • XP处理可最大程度减少将有机可提取物,从而实现快速启动并减少化学废物 • XP选项可保证低有机物、金属和颗粒物在多数高级工艺中的清洁度 PhotoKleen™ EZD-3X过滤器设计用于配合装入所有PhotoKleen™ EZD-3头部双联管路组件


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描述

PhotoKleen™ EZD-3X过滤器设计用于占空用空间最少的小型分配系统。PhotoKleen™ EZD-3XL过滤器的过滤面积是PhotoKleen™ EZD-3X过滤器的几乎两倍,可在过滤期间降低压降。因此,过滤期间压降减小,或在相同压降下实现更精细的过滤效果。可选两种滤材类型:不对称尼龙6,6和HDPE。天然亲水性尼龙6,6膜能够自发润湿,结果显示其极性可减少图案化晶圆的缺陷。XP选项可用于高级光刻工艺。 特性和优势 • 相同尺寸滤囊产生2倍的过滤面积(参见PhotoKleen™ EZD-3过滤器) • 易更换式过滤总成 • 可选两种膜材料 • 滞留体积最小,顶进/顶出流向,侧面导管用于层流灌充 • 压降较低,可提高流体粘度 • 延长过滤器更换间隔时间,缩短工具故障时间 • 优化用于目标应用的滤材选择 • XP处理可最大程度减少将有机可提取物,从而实现快速启动并减少化学废物 • XP选项可保证低有机物、金属和颗粒物在多数高级工艺中的清洁度 PhotoKleen™ EZD-3X过滤器设计用于配合装入所有PhotoKleen™ EZD-3头部双联管路组件

规格

 

构成材质

 

部件

材料

滤材

  • P-尼龙:亲水性不对称尼龙6,6
  • PE-Kleen:高密度聚乙烯(HDPE)

背衬和排液

高密度聚乙烯(HDPE)

内芯、网罩和端盖

高密度聚乙烯(HDPE)

滤壳

高密度聚乙烯(HDPE)

O型圈

Kalrez*1

 

1 Kalrez是杜邦公司的注册商标。

 

滤除精度

  • P尼龙:2nm、5nm、20nm、40nm和0.15μm
  • PE-Kleen:2nm、5nm、10nm、30nm和50nm

过滤面积

  • P-尼龙:
    • 2nm:1,600cm2
    • 5nm:1,200cm2
    • 10、20、40nm和0.15μm:1300cm2
  • PE-Kleen:
    • 2、5、10、30nm:1400cm2
    • 50nm:1500cm2

最大前向压差

P-尼龙:20°C时为0.27MPa/60°F时为39psid
PE-Kleen:30°C时为0.29MPa/86°F时为42psid

最高工作温度

30°C/86°F

最大工作压力

30°C时为0.29MPaG/86°F时为42psig

 


尺寸2



*2 PhotoKleen EZD-3头部双联管路组件可用于PhotoKleen EZD-3X囊式过滤器。

性能

典型流动特征-1厘泊流体(20℃)







类型

总成、滤囊

用途

过滤

应用

光刻法

订购信息

 

部件编号/订购信息3

PHD12 [1] EH11B

表1

 

代码

滤材

滤除精度

XN2L4

P-尼龙

不对称尼龙6,6

2nm

HXN54

不对称尼龙6,6

5nm

AN01

不对称尼龙6,6

10nm

ANM

不对称尼龙6,6

20nm

AND

不对称尼龙6,6

40nm

AN15

不对称尼龙6,6

0.15μm

UG2

PE-Kleen

HDPE

2nm

UG5

HDPE

5nm

UG001

HDPE

10nm

UG003

HDPE

30nm

UG005

HDPE

50nm

*3 对于XP处理选项,在10nm/20nm滤除精度的部件编号末尾添加-XP

*4 XP处理在2nm/5nm滤除精度的标配。

分类信息

半导体

检查

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