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Micro Kleen-Change®过滤器总成（光刻） product photo Primary L

Micro Kleen-Change® Filter Assembly (Llithography)

Micro Kleen-Change过滤器总成设计用于滞留体积小且对清洁度有严苛要求的小规模分配应用。极小尺寸确保滞留体积小。全氟聚合物结构提供优异的清洁度和相容性。 • 滞留体积小 • 全氟聚合物结构 • 无弹性密封件 • 洁净室内生产
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描述

Micro Kleen-Change过滤器总成设计用于滞留体积小且对清洁度有严苛要求的小规模分配应用。极小尺寸确保滞留体积小。全氟聚合物结构提供优异的清洁度和相容性。 • 滞留体积小 • 全氟聚合物结构 • 无弹性密封件 • 洁净室内生产

规格

材料

  • 滤材：PTFE
  • 支撑/排水：PFA
  • 外壳、内芯和端盖：PFA440HP

滤除精度

  • 05μm、0.1μm

过滤面积

  • 100cm2/15.5英寸2

接口：进口/出口、通气/排液口

  • 1⁄8英寸Swagelok 1/1⁄8英寸Swagelok

工作条件

  • 最大工作压力：
    • 77°F时为58psi/25°C时为4巴
    • 194°F时为29psi/90°C时为0巴
    • 248 °F时为20psi/120 °C时为5巴
  • 最大前向压差：68°F时为28psi/20°C时为9巴

建议应用：

  • 旋涂玻璃（SOG）
  • 六甲基二硅氮烷（HMDS）
1Swagelok是Swagelock公司的注册商标。

性能

压降与液体流量*

Pressure Drop vs. Liquid Flow Rate
*对于粘度不是1cP的液体，将压降乘以粘度（厘泊）。

类型

总成、滤囊

用途

过滤

应用

光刻、ODF

订购信息

部件编号

滤除精度
（μm）

接口：（进口/出口、通气/排液口）

长度（L）
（英寸/mm）

LDFN01F001SW22

0.1

1⁄8英寸Swagelok、1⁄8英寸Swagelok

3.1/78

LDFN01F0005SW22

0.05

1⁄8英寸Swagelok、1⁄8英寸Swagelok

3.1/78

单位换算：1巴=100千帕

分类信息

半导体、显示器

检查

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