Emflon® PF过滤器(光刻) product photo Primary L

Emflon® PF Filter (Lithography)

Emflon PF过滤器使用折叠滤膜,具有全氟聚合物结构,设计用于过滤侵蚀性工艺流体。 • 优异的相容性 • 全氟聚合物结构 • 高温和高压能力 • 大流量 • 低溶出物量 • 在洁净室环境中生产 • 100%通过完整性测试 • 独特的滤芯内芯可在185°C下提供极高的抗压塌性。


Contact Us
* 必填项

描述

Emflon PF过滤器使用折叠滤膜,具有全氟聚合物结构,设计用于过滤侵蚀性工艺流体。 • 优异的相容性 • 全氟聚合物结构 • 高温和高压能力 • 大流量 • 低溶出物量 • 在洁净室环境中生产 • 100%通过完整性测试 • 独特的滤芯内芯可在185°C下提供极高的抗压塌性。

规格

 

构成材质

 

部件

材料

滤膜

PTFE

滤膜背衬

FEP粘接PTFE

内芯、网罩和端盖

PFA

密封方法

熔体密封

O型圈选项

FEP包封氟橡胶Kalrez1

 

1Kalrez是杜邦陶氏弹性体弹性体公司的注册商标。

 

 

结构

AB1

AB04

4463

2230

标称过滤面积

0.56m2/6英尺2

0.24m2/2.6英尺2

0.17m2/1.8英尺2

0.07m2/0.75英尺2

标称长度

254mm/10英寸

102mm/4英寸

137mm/5.4英寸

64mm/2.5英寸

滤除精度(μm

0.05、0.1、0.2、1、5、10

0.05、0.1、0.2、1、5、10

0.1、0.2

0.1、0.2

最高工作温度

185˚C/365˚F

最大前向压差

0.69MPa<50˚C/100psid<120˚F
0.41MPa<110˚C/60psid<230˚F
0.24MPa<170˚C/35psid<335˚F
0.14MPa<185˚C/20psid<365˚F

最大反向压差

0.34MPa<20˚C/50psid<68˚F

 

性能

典型流动特征-1厘泊流体,20℃





2额定流量3 对于粘度不同于水的液体,压降应乘以粘度(厘泊)。

类型

滤筒和滤芯

用途

过滤

应用

光刻法

订购信息

 

部件编号2/订购信息

AB[1][2] 3E[3][4]
MPF[5][6] E[3][4]

表1

 

代码

滤芯长度(标称)

1

254mm/10英寸

04

102 mm/4英寸

 

表2

 

代码

滤除精度

F0005

0.05μm

F001

0.1μm

F002

0.2μm

F010

1μm

F050

5μm

F100

10μm

 

表3

 

代码

O型圈材料 

H1

包封FEP的氟橡胶 

H11

Kalrez 

 

 

表4

 

代码

预湿选项

-K3

预湿过滤器(包装在去离子水中)

干燥

 

 

表5

 

代码

滤芯长度(标称)

2230

64mm/2.5英寸

4463

137mm/5.4英寸

 

表6

 

代码

滤除精度

F001

0.1μm

F002

0.2μm

 

2并非始终可提供组合所有代码的部件编号。请联系颇尔获取部件编号可用性。



代表性部件编号示例

AB1F1003EH1
AB1F0503EH1
AB1F0103EH1
AB04F0023EH1
MPF2230F002EH1
MPF2230F001EH1
MPF4463F002EH1
MPF4463F002EH11

分类信息

半导体

检查

Earn 10% off* your next order online by leaving a review of this product. Please login to your account to leave a review. We appreciate and value your feedback.

*Subject to Terms and Conditions.