PhotoKleen™ EZD-3过滤器总成 product photo Primary L

PhotoKleen™ EZD-3 Filter Assembly

PhotoKleen™ EZD-3过滤器设计用于极小型光刻胶泵设备。该过滤器专门设计用于占用空间最小的小型分配系统。PhotoKleen EZD-3过滤器装置由快卸头部双联管路组件和高密度聚乙烯(HDPE)滤囊构成。该结构能够实现轻松快速且安全地更换过滤器。可提供三种滤材:PTFE、HDPE和尼龙6,6。天然亲水性尼龙6,6膜可自发润湿。快速启动速度快,产生的气泡量最少,因此可最大程度减少光化学废物。 • 滤囊总成 • 顶进/顶出流向,进口液流流至底部 • 滞留体积极小(40mL) • 一步式快速更换过滤器 • 优化用于60mm宽度光刻胶泵,减小分配系统尺寸 • 死区面积最小化 • 过滤器启动和更换过程中产生的化学废物减少


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描述

PhotoKleen™ EZD-3过滤器设计用于极小型光刻胶泵设备。该过滤器专门设计用于占用空间最小的小型分配系统。PhotoKleen EZD-3过滤器装置由快卸头部双联管路组件和高密度聚乙烯(HDPE)滤囊构成。该结构能够实现轻松快速且安全地更换过滤器。可提供三种滤材:PTFE、HDPE和尼龙6,6。天然亲水性尼龙6,6膜可自发润湿。快速启动速度快,产生的气泡量最少,因此可最大程度减少光化学废物。 • 滤囊总成 • 顶进/顶出流向,进口液流流至底部 • 滞留体积极小(40mL) • 一步式快速更换过滤器 • 优化用于60mm宽度光刻胶泵,减小分配系统尺寸 • 死区面积最小化 • 过滤器启动和更换过程中产生的化学废物减少

规格

 

规格(滤囊)

构成材质

部件

材料

滤材

P-尼龙

PE-Kleen

P Emflon

亲水性尼龙6,6

高密度聚乙烯(HDPE)

PTFE

背衬和排液

高密度聚乙烯(HDPE)

内芯、网罩和端盖

高密度聚乙烯(HDPE)

滤壳

高密度聚乙烯(HDPE)

O型圈

Kalrez1

1 Kalrez是杜邦公司的注册商标。

滤除精度(μm)

P-尼龙

PE-Kleen

P Emflon

20nm

40nm、0.1、0.2

10nm

30nm、0.05

0.05、0.1、0.2

标称过滤面积

710cm2/0.76ft2

660cm2/0.71ft2

770cm2/0.82ft2

660cm2/0.71ft2

660cm2/0.71ft2

最大前向压差

20°C时为0.27MPa/68°F时为39psid

30°C时为0.29MPa/86°F时为42psid

30°C时为0.29MPa/86°F时为42psid

最高工作温度

30°C/86°F

最大工作压力

30°C时为0.29MPaG/86°F时为42psig

规格(头部双联管路组件)

构成材质

部件

材料

头部

PFA/HDPE

接头

PFA/PCTFE

台阶和杆

SUS304

接头

类型

进口/出口

通气口

Super Pillar3

1/4" (6.35 x 3.9mm) 弯头套管

1/4" (6.35 x 3.9mm) 弯头套管

1/4" (6.35 x 3.9mm) 直套管

1/4" (6.35 x 3.9mm) 直套管

Flowell4 60系列

1/4" (6.35 x 3.9mm)接头

1/4" (6.35 x 3.9mm)接头

4 x 3mm / 4 x 2mm接头

4 x 3mm / 4 x 2mm接头

5 x 3 mm接头

5 x 3 mm接头

3 Pillar是日本Pillar包装有限公司的商标。
4 Flowell是Flowell公司的商标。

性能

典型流动特征 - 1厘泊流体(20℃)

P Emflon Filter (PTFE media)


 PE-Kleen Filter (HDPE media)

P-Nylon Filter (Nylon 6,6 media)
 

类型

总成、滤囊

用途

过滤

应用

光刻法、光刻法

附加信息

滤材电子显微照片

P尼龙(尼龙6,6)

PE-Kleen (HDPE)

P Emflon (PTFE)

Dimensions Dimensions Dimensions

尺寸

Dimensions
Dimensions
Dimensions Dimensions
Dimensions

订购信息

 

部件编号/订购信息(滤囊)

PHD11 [1] EH11B

表1

 

代码

滤材

滤除精度

ANM

P尼龙
(不对称尼龙6,6)

20nm

AND

40nm

UNI

P尼龙
(尼龙6,6)

0.1μm

UNA

0.2μm

UG001

PE-Kleen
(HDPE)

10nm

UG003

30nm

UG005

50nm

UFD

P Emflon
(PTFE)

50nm

UFT

0.1μm

UFR

0.2μm

 

备件

 

产品名称

部件编号

Memo

虚拟滤囊

PHDC11H11B

O型圈:Kalrez

PHDC12H11B-XP+

O型圈:Kalrez
特殊情结产品

 

部件编号/订购信息(头部双联管路组件)

PHF11G [1]

表1

 

代码

进口/出口

通气口

PS44LD

1/4" (6.35 x 3.9mm) Super Pillar弯头套管

1/4" (6.35 x 3.9mm) Super Pillar弯头套管

PS44LTD

1/4" (6.35 x 3.9mm) Super Pillar直套管

1/4" (6.35 x 3.9mm) Super Pillar直套管

FS44WLTD

1/4" (6.35 x 4.3 mm) Flowell 60接头

1/4" (6.35 x 4.3 mm) Flowell 60接头

FS44MLD

4 x 3mm / 4 x 2mm Flowell 60接头

4 x 3mm / 4 x 2mm Flowell 60接头

FS55MLTD

5 x 3 mm Flowell 60接头

5 x 3 mm Flowell 60接头

 


代表性部件编号示例

(头部双联管路组件)

 

(滤囊)

PHF11GFS44WLTD

 

PHD11UNAEH11B

PHF11GFS44MLD

 

PHD11UNIEH11B

PHF11GPS44LD

PHF11GPS44LTD

 

PHD11ANMEH11B

PHF11GFS55MLTD

 

PHD11ANDEH11B

 

PHD11UG005EH11B

 

PHD11UG003EH11B

 

PHD11UG001EH11B

 

PHD11UFREH11B

 

PHD11UFTEH11B

 

PHD11UFDEH11B

分类信息

显示器、半导体

检查

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