PhotoKleen™ EZD过滤器总成 product photo Primary L

PhotoKleen™ EZD Filter Assembly

PhotoKleen EZD过滤器总成设计用于简单、快速更换使用点光化学分配应用中的过滤器并确保其清洁度和安全性。PhotoKleen EZD过滤器总成由头部双联管路组件接口和HDPE(高密度聚乙烯)囊式过滤器构成,其理想用于改善现有设备性能,可指定安装在一流的新型分配泵中。 • 滞留体积小 • 在洁净室环境中生产 • 滤囊总成 • 顶进/顶出流向 • 一步式快速断开过滤器 • 死区面积最小化 • 过滤器启动和更换过程中的化学废物减少 • XP选项可最大程度减少有机可提取物,从而实现快速启动并减少化学废物 • XP选项可保证低有机物、金属和颗粒物在多数高级工艺中的清洁度。


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描述

PhotoKleen EZD过滤器总成设计用于简单、快速更换使用点光化学分配应用中的过滤器并确保其清洁度和安全性。PhotoKleen EZD过滤器总成由头部双联管路组件接口和HDPE(高密度聚乙烯)囊式过滤器构成,其理想用于改善现有设备性能,可指定安装在一流的新型分配泵中。 • 滞留体积小 • 在洁净室环境中生产 • 滤囊总成 • 顶进/顶出流向 • 一步式快速断开过滤器 • 死区面积最小化 • 过滤器启动和更换过程中的化学废物减少 • XP选项可最大程度减少有机可提取物,从而实现快速启动并减少化学废物 • XP选项可保证低有机物、金属和颗粒物在多数高级工艺中的清洁度。

规格

 规格(滤囊)

构成材质

 

部件

材料

滤材

P-尼龙:亲水性尼龙6、6
PE-Kleen:高密度聚乙烯(HDPE)
P Emflon:PTFE

背衬和排液

高密度聚乙烯(HDPE)

内芯、网罩和端盖

高密度聚乙烯(HDPE)

滤壳

高密度聚乙烯(HDPE)

O型圈

全氟橡胶、Kalrez1、EPDM

 

1 Kalrez是杜邦公司的注册商标

 

滤除精度(nm

P-尼龙

PE-Kleen

P Emflon

2、5、10、20、40、0.1μm、0.2μm

2、5、10、30、50

50、0.1μm、0.2μm

标称过滤面积

PHD22

XN2L:2900 cm2
HXN5:1900cm2
AN01、ANM:2500cm2

UG2, UG5:2600cm2
UG001 : 2500cm2

2800cm2

AND : 2500cm2

UG003:2200cm2

UNI、UNA:1960cm2

UG005:3200cm2

PHD44

XN2L:5900cm2
HXN5:4100cm2
AN01、ANM、 AND: 5300cm2

UG2, UG5:5200cm2
UG001 : 5100cm2

4400cm2

UNI、UNA:3340cm2

UG003:4400cm2
UG005:5400cm2

最大前向压差

20°C时为0.27MPa/60°F时为39psid

23 °C时为0.34MPa/73 °F时为49psid

23 °C时为0.34MPa/73 °F时为49psid

最高工作温度

23°C/73°F

最大工作压力

23°C时为0.39MPaG/73°F时为57psig

 


滤材电子显微照片

P尼龙(尼龙6,6

P-Nylon (Nylon 6,6)




PE-Kleen (HDPE)

PE-Kleen (HDPE)




P Emflon (PTFE)

P Emflon (PTFE) 


规格(头部双联管路组件)

构成材质

 

部件

材料

头部

聚丙烯(不润湿)

接头

PTFE / PFA

-螺母

SCS13类(有操作把手)

 

 

接头

 

类型

进口/出口

通气口

Super Pillar2

1/4" (6.35 x 3.9mm) 弯头套管

1/4" (6.35 x 3.9mm) 弯头套管

3/8" (9.53 x 6.3 mm) 弯头套管

1/2" (12.7 x 9.5 mm) 弯头套管

1/4" (6.35 x 3.9mm) 直套管

1/4" (6.35 x 3.9mm) 直套管

3/8" (9.53 x 6.3mm) 直套管

Flowell3 60系列

1/4" (6.35 x 3.9mm)接头

1/4" (6.35 x 3.9mm)接头

6 x 4mm接头

4 x 3mm接头

8 x 6mm接头

10 x 8mm接头

6 x 4mm接头

6 x 4mm接头

10 x 8mm接头

 

2 Pillar是日本Pillar包装有限公司的商标。
3 FlowellFlowell公司的商标。

性能

典型流动特征-1厘泊流体(20℃)

1/4" Super Pillar 接头: PHYGPS44B
PHYGPS44BS
1/4 super pillar fitting

典型流动特征-1厘泊流体(20℃)

3/8" Super Pillar 接头: PHYGPS64B
PHYGPS64BS
3/8 Super Pillar fitting

典型流动特征-1厘泊流体(20℃)

1/2" Super Pillar 接头: PHYGPS84B
1/2 super pillar fitting

典型流动特征-1厘泊流体(20℃)

6 mm Flowell 60 接头: PHYGFS66MAB
6 mm Flowell 60 fitting

典型流动特征-1厘泊流体(20℃)

8 mm Flowell 60 接头: PHYGFS84MB
8 mm Flowell 60 fitting

典型流动特征-1厘泊流体(20℃)

10 mm Flowell 60 接头 : PHYGFS104MB
PHYGFS106MB
10 mm Flowell 60 fitting

典型流动特征-1厘泊流体(20℃)

10 mm Flowell 60 fitting
10 mm Flowell 60 fitting

类型

总成、滤囊

用途

过滤

应用

光刻法、光刻法、光刻法

附加信息

尺寸

滤囊
 
虚拟滤囊

尺寸

Super Pillar接头



Flowell 60接头

订购信息

 

部件编号/订购信息(滤囊)

PHD [1][2] E [3][4][5]

表1

 

代码

长度(标称)

mm

英寸

22

99

3.9

44

159

6.3

 

表2

 

代码

滤材

滤除精度

XN2L

P尼龙
(不对称尼龙6,6)

2nm

HXN5

5nm

AN01

10nm

ANM

20nm

AND

40nm

UNI

P尼龙
(尼龙6,6)

0.1μm

UNA

0.2μm

UG2

PE-Kleen
(HDPE)

2nm

UG5

5nm

UG001

10nm

UG003

30nm

UG005

50nm

UFD

P-Emflon
(PTFE)

50nm

UFT

0.1μm

UFR

0.2μm

 

表3

 

代码

O型圈材料

H23

1/4"、3/8"、6mm、8mm 全氟橡胶

 H11

Kalrez

J

EPDM

 

表4

 

代码

头部双联管路组件接头

1/4"、3/8"、6mm、8mm

-2

 1/2"、10mm

 

表5

 

代码

清洁度选项

标准产品

-XP

低有机物、金属和颗粒数量的清洁度

 

 

部件编号/订购信息(头部双联管路组件)

PHYG [1]

表1

 

代码

进口/出口

通气口

PS44B

1/4" (6.35 x 3.9mm) Super Pillar弯头套管

1/4" (6.35 x 3.9mm) Super Pillar弯头套管

PS64B

3/8" (9.53 x 6.3 mm) Super Pillar弯头套管

PS84B

1/2" (12.7 x 9.5 mm) Super Pillar弯头套管

PS44BS

1/4" (6.35 x 3.9mm) Super Pillar直套管

1/4" (6.35 x 3.9mm) Super Pillar直套管

PS64BS

3/8" (9.53 x 6.3mm) Super Pillar直套管

FS44B

1/4" (6.35 x 3.9mm) Flowell 60接头

1/4" (6.35 x 3.9mm) Flowell 60接头

FS64MB

6 x 4mm Flowell 60接头

4 x 3mm Flowell 60接头

FS84MB

8 x 6mm Flowell 60接头

FS104MB

10 x 8mm Flowell 60接头

FS66MB

6 x 4mm Flowell 60接头

6 x 4mm Flowell 60接头

FS106MB

10 x 8mm Flowell 60接头

 

备件

 

产品名称

部件编号

适用头部双联管路组件

虚拟滤囊

PHDC1H23

PHYGPS44B(S)、PHYGPS64B(S)、PHYGFS64MB、
PHYGFS64MB、PHYGFS66MB、PHYGFS84MB

PHDC2H23

PHYGPS84B、PHYGFS104MB、PHYGFS106MB

安装支架

PHFGBRACKET14

所有

 


代表性部件编号示例

(头部双联管路组件)
PHYGPS44B
PHYGPS64B
PHYGPS84B
PHYGFS44B
PHYGFS64MB
PHYGFS84MB
PHYGFS104MB
PHGF支架05
(安装支架)

 

 

 

(滤囊)
PHD22UNIEH11
PHD22UNIEJ
PHD22UNDEJ
PHD22UNDEH11
PHD44UNDEH11-2


PHD22ANDEH11
PHD44ANDEH11
PHD22ANMEH11
PHD44ANMEH11


PHD44UFNEH11
PHD22UFREH11
PHD22UFDEH11
PHD22UFTEH11
PHD44FTEH11
PHD44UFTEH11-2
PHD22UFDEH11
PHD44UFDEH11
PHD44UFDEH11-2


PHD22UG005EH11
PHD44UG005EH11
PHD22UG003EH11

 

分类信息

显示器、半导体和LED

检查

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