PE-Kleen G2过滤器和PE-Kleen SWD囊式过滤器 product photo Primary L

PE-Kleen G2 Filters and PE-Kleen SWD Capsules

PE-Kleen G2过滤器组合聚乙烯薄膜技术的最新进展与颇尔独特的月牙形Ultipleat®过滤器技术。设计并制造出半导体工业所需的具有优异颗粒滤除特性的滤芯。 PE-Kleen G2过滤器专门设计用于过滤超高纯度化学品,包括有机抗蚀剂和DHF。 PE-Kleen SWD囊式过滤器是一类可节省空间的过滤器装置,理想适用于安装至单晶片清洗系统中。 特点 • 优异的凝胶滤除特性 • 大流量 • 低溶出 • 100%通过完整性测试 • 在洁净室环境中生产 • 包装中超纯水100%预湿 • 节省空间的紧凑囊式过滤器


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描述

PE-Kleen G2过滤器组合聚乙烯薄膜技术的最新进展与颇尔独特的月牙形Ultipleat®过滤器技术。设计并制造出半导体工业所需的具有优异颗粒滤除特性的滤芯。 PE-Kleen G2过滤器专门设计用于过滤超高纯度化学品,包括有机抗蚀剂和DHF。 PE-Kleen SWD囊式过滤器是一类可节省空间的过滤器装置,理想适用于安装至单晶片清洗系统中。 特点 • 优异的凝胶滤除特性 • 大流量 • 低溶出 • 100%通过完整性测试 • 在洁净室环境中生产 • 包装中超纯水100%预湿 • 节省空间的紧凑囊式过滤器

规格

构成材质

 

部件

材料

滤材

HDPE(高密度聚乙烯)

背衬和排液

HDPE

内芯、网罩和端盖

HDPE

滤壳

HDPE

O型圈选项

FEP包封氟橡胶、Kalrez2、Chemraz3

 

1 包装内装满超纯水。
2Kalrez是DuPont Performance Elastomers的商标。
3Chemraz是Nippon Pillar Packing Co.的商标。

 

产品名称

PE-Kleen G2过滤器

PE-Kleen SWD囊式过滤器

滤除精度

10nm

5nm、10nm

结构

ABDG型滤芯

U形流动囊式过滤器

标称过滤面积

ABDG1 2.6m2/28ft2
ABDG2 5.2m2/56ft2
ABDG3 7.8m2/84ft2

0.28m2/3.0ft2

最高工作温度

60°C/140°F

最大前向压差

40°C/104°F时为0.34MPa/49psid

 

最大工作压力

 

38°C/100°F时为0.35MPaG/51psig
60°C/140°F时为0.17MPaG/25psig

 

性能

典型流动特征-1厘泊流体,20℃



类型

滤筒和滤芯

用途

过滤

应用

其它、化学品、光刻法、湿法蚀刻和清洗

订购信息

部件编号/订购信息4

PE-Kleen G2过滤器

ABDG [1] UG [2] [3] E [4] [5]

表1

 

代码

标称长度
mm/英寸)

1

241/9.5

2

484/19.1

3

723/28.5

 

 

表2

 

代码

滤除精度

001

10nm

 

表3

 

代码

结构

3

222 O型圈:开端、平面封闭端

 

表4

 

代码

O型圈材料

H1

包封FEP的氟橡胶

H11

Kalrez

H12

Chemraz

 

表5

 

代码

包装

K3

预湿5

空白

干燥

 

PE-Kleen SWD囊式过滤器

SWD03 [1] 4E71 [2]

表1

 

代码

滤除精度

UG5

5nm

UG001

10nm

 

表2

 

代码

预湿选项

干燥

-K13C

预湿过滤器(包装在去离子水中)、低金属可溶出物6

 

接头(进口/出口,通气口:¼英寸,Super Pillar7 300 P系列(日本Pillar)

 

4

与所有代码组合的部件编号并非总是可选,请联系颇尔获取部件编号可用性。

5

如果部件编号不包含K3,过滤器将干燥包装。

6

可溶出物条件请联系颇尔。

7

Pillar是Nippon Pillar Packing Co.的商标。

 

分类信息

数据存储、半导体、半导体、数据存储

检查

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