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Profile® Star Filters

Profile Star过滤器是一类折叠式全聚丙烯深滤器,理想适用于清除氧化物、钨和铜化学机械抛光(CMP)所用料浆中的团聚颗粒和凝胶。 • 褶皱深且宽,可长期用于过滤含有大量悬浮物的液体 • 过滤面积大,采用连续的变径微孔结构,可最大程度减少过程突变 • 陡峭效率曲线,显著提升尺寸过大颗粒的滤除效率,同时最大程度减少所需粉浆颗粒的滤除


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描述

Profile Star过滤器是一类折叠式全聚丙烯深滤器,理想适用于清除氧化物、钨和铜化学机械抛光(CMP)所用料浆中的团聚颗粒和凝胶。 • 褶皱深且宽,可长期用于过滤含有大量悬浮物的液体 • 过滤面积大,采用连续的变径微孔结构,可最大程度减少过程突变 • 陡峭效率曲线,显著提升尺寸过大颗粒的滤除效率,同时最大程度减少所需粉浆颗粒的滤除

规格

规格

构成材质

 

部件

材料

滤材

聚丙烯

背衬和排液

聚丙烯

内芯、网罩和端盖

聚丙烯

滤壳(DFA)

聚丙烯

垫圈选项

EPDM、聚丙烯

O型圈选项

EPDM、硅橡胶和氟橡胶

 

 

产品名称

10英寸滤芯

DFA滤囊

滤除精度(μm)

0.8、1、1.5、3、5、10、15

0.8、1、1.5、3、5

最高工作温度

80°C/176°F

38°C/100°F

最大前向压差

50°C/120°F时为0.50 MPa/70psid
80°C/176°F时为0.34 MPa/50psid

80°C/176°F时为0.34MPa/50psid

最大工作压力

-

38°C(100°F)时为0.49MPaG/71psig

 

性能

压降与介质流量1(水、20°C)

Pressure Drop vs. Liquid Flow Rate


  Pressure Drop vs. Liquid Flow Rate

1额定流量对于粘度与水不同的介质,将压降乘以粘度(厘泊)
单位换算:1bar=0.1MPa

类型

滤筒和滤芯

用途

过滤

应用

湿式蚀刻和清洗、CMP、着色剂过滤器

订购信息

部件编号订购信息

垫片密封过滤器
PUY [1] A [2] [3]

表1

 

代码

滤芯长度(标称)

1

254mm/10英寸

2

508mm/20英寸

3

762mm/30英寸

 

表2

 

代码

滤除精度2(μm

008

0.83

010

14

015

1.5

030

3

050

5

100

10

150

15

 

表3

 

代码

垫圈材料

J

EPDM(标准)

Y1

聚丙烯

 

O型圈密封过滤器
PUY [1] A [2] [4]

表4

 

代码

O型圈规格

3

AS568A-222

7

AS568A-226

25 5

AS568A-222

 

表5

 

代码

垫圈材料

J

EPDM(标准)

H4

硅橡胶

H

氟橡胶

 

2 99.98%过滤效率时的滤除精度,依据在水介质中实施的改进版OSU-F2单次通过试验。
3 94%过滤效率时的滤除精度。
4 99.8%过滤效率时的滤除精度。
5 仅用于0.8μm过滤精度的选项。

DFA滤囊
DFA [6] A [7]

表6

 

代码

接头

通气口/排液口

管尺寸

结构

管尺寸

结构

4201

1/4英寸

NPT公头

1/8英寸

NPT公头

5301

16 mm

1⁄4英寸Swagelok6

4 mm

Swagelok

 

表5

 

代码

滤除精度1(μm

008

0.83

010

1

015

1.5

030

3

050

5

 

6 Swagelok是Swagelok公司的商标。

代表性部件编号示例

AB1A00825J

AB1A0503J

AB2A00825J

AB2A0503J

AB1A0103J

AB1A1003J

AB2A0103J

AB2A1003J

AB1A0153J

AB1A2003J

AB2A0153J

AB2A2003J

AB1A0303J

AB2A0303J

分类信息

多层陶瓷电容器、半导体、显示器

检查

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