描述
CMPure CMPD高级熔吹筒式深滤器专门优化用于CMP粉浆系统，可产生高度稳定和可重复的过滤性能。CMPD过滤器采用我们专有的CoLD过滤器熔吹技术，该技术可将同位粗径纤维集成在细纤维基材中，产生刚性的滤芯结构网络。因此，CMPD过滤器具有出色的结构强度，卓越的耐污染物脱落性能和格外长的使用寿命。
• 全聚丙烯构造
• 连续梯度微孔结构，用于内置预滤
• 可用于金属（钨、铜、铝）、氧化物和STI粉浆
• 还可用作一次性囊式过滤器
规格
材料
- 滤材：聚丙烯
- 内芯、网罩和端盖：聚丙烯
- O型圈选项：EPDM、氟橡胶1
滤除精度
- 0.5 μm、1.5 μm、2 μm、5 μm、10 μm、15 μm、20 μm、30 μm和50 μm
结构
- 标称长度：
- 102mm/4英寸
- 254mm/4英寸
- 508mm/20英寸
- 762mm/30英寸
- 1016mm/40英寸
- 直径：66mm/2.6英寸
工作条件
- 最高温度：82°C/180°F
- 最大压差：
- 30°C时4MPa/86°F时60psid
- 66°C时2MPa/150°F时30psid
- 82 °C时1MPa/180 °F时15psid
性能
压降及介质流量2
2对于粘度不同于水的液体，压降应乘以粘度（厘泊）。
类型
滤筒
用途
过滤, 液体
应用
CMP
订购信息
本信息是部件编号结构和可选择项的指示说明。有关特定选项是否可选和滤壳详情，请联系颇尔。
部件编号示例：CMPD 10 4 U H21 F（参见下表所示的粗体参考信息）
部件编号：
CMPD <表1中的滤除精度代码> <表2中的标称长度代码> <表3中的构成材料代码> <表4中的滤芯端盖结构代码> <表5中的O型圈材料代码>
表1-滤除精度
| 代码 |
滤除精度（μm） |
| 0.5 | 0.5 |
| 1.5 | 1.5 |
| 2 | 2 |
| 5 | 5 |
| 10 | 10 |
| 15 | 15 |
| 20 | 20 |
| 30 | 30 |
| 50 | 50 |
表2-标称长度
| 代码 | 标称长度（英寸/mm）
|
| 4 | 4 / 102 |
| 10 | 10 / 254 |
| 20 | 20 / 508 |
| 30 | 30 / 762 |
| 40 | 40 / 1016 |
表3-构成材料
| 代码 | 构成材料
|
| U | Polypropylene |
表4-滤芯端盖结构
| 代码 | 滤芯端盖结构
|
| M3 | SOE flat closed end, 222 O-rings |
| H21 | Double open end, santoprene1 gasket seal |
表5-O型圈材料
| 代码 | O型圈材料
|
| E | EPDM |
| F | Teflon1 Encapsulated Viton A |
| V | Viton A |
由于CMP中配方的不断变化以及工艺改进，有关最新适用的过滤建议，包括<0.5μm深滤器以及不同长度的滤芯，请联系颇尔微电子进行咨询。
这些滤芯还可选一次性囊式结构，具体参见Kleen-Change®串联囊式过滤器的规格。
1Teflon和Viton是杜邦公司的商标。
单位转换：1巴=100千帕
分类信息
半导体
检查
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