EZ在线过滤器总成 product photo Primary L

EZ In-Line Filter Assembly

EZ在线紧凑囊式组件理想适用于过滤光刻胶中的各种液体,包括染色光阻到CMP和陶瓷等各种料浆。其它应用包括彩色油墨、照相乳胶、磁性涂层以及导电和玻璃浆。这是EZ系列组件中最大的囊式过滤器,可快速一步更换过滤器。双联管路组件接头设计易于拆卸喷嘴进行清洗。 • 允许快速和安全更换过滤器并轻松维护。 • 在线流路设计,最小程度减小死区 • 滤囊设计可避免错误取向和安装 • 可简单更换并易于维护的连接喷嘴设计 • 易于使用,明显缩短停机时间 • 最大程度地减少溶剂接触 • Profile Star滤膜专门用于清除凝胶、团聚体和过大颗粒 • 可选标称130mm(5英寸)和260mm(10英寸)长度的滤芯,适用于大多数应用。 • 可选各种连接尺寸


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描述

EZ在线紧凑囊式组件理想适用于过滤光刻胶中的各种液体,包括染色光阻到CMP和陶瓷等各种料浆。其它应用包括彩色油墨、照相乳胶、磁性涂层以及导电和玻璃浆。这是EZ系列组件中最大的囊式过滤器,可快速一步更换过滤器。双联管路组件接头设计易于拆卸喷嘴进行清洗。 • 允许快速和安全更换过滤器并轻松维护。 • 在线流路设计,最小程度减小死区 • 滤囊设计可避免错误取向和安装 • 可简单更换并易于维护的连接喷嘴设计 • 易于使用,明显缩短停机时间 • 最大程度地减少溶剂接触 • Profile Star滤膜专门用于清除凝胶、团聚体和过大颗粒 • 可选标称130mm(5英寸)和260mm(10英寸)长度的滤芯,适用于大多数应用。 • 可选各种连接尺寸

规格

 

材料

  • 滤囊
    • 滤膜:聚丙烯
    • 内芯、网罩、端盖、背衬、排液口和滤壳:聚丙烯
    • 端封/侧封:热密封
    • O型圈选项:EPDM、全氟橡胶
  • 头部双联管路组件
    • 架:FEP涂装SUS 304
    • 接头(拆卸喷嘴):PTFE


滤除精度

  • 5μm、3.5μm、5μm


工作条件

  • 最高工作温度:30°C
  • 最大工作压力:19MPa@ 30°C


连接

  • 进口/出口:
    • 可使用10mm Swagelok1
    • 可使用8mm Swagelok
    • 可使用34英寸Swagelok
    • 可使用38英寸Swagelok
  • 通气/排液:
    • 可使用8mm Swagelok
    • 可使用6mm Swagelok
    • 可使用14英寸Swagelok

1SwagelokSwagelok公司的商标。

性能

压降及介质流量2

Pressure Drop vs. Liquid Flow Rate
2对于粘度不同于水的液体,压降应乘以粘度(厘泊)。


尺寸3


3滤囊和双联管路组件头可选两种尺寸:
220mm
长的滤囊包含标称130mm/5英寸滤囊,343mm长的滤囊包含标称260mm/10英寸滤囊。
337mm
长的双联管路组件头设计用于标称130mm/5英寸滤囊,460mm长的双联管路组件头用于标称260mm/10英寸滤囊。

类型

囊式过滤器

用途

过滤

订购信息

 

部件编号/订购信息


滤囊

TEY[1][2][3]

1

 

代码

滤芯尺寸

05

5英寸

1

10英寸

 


2

 

代码

滤材

滤除精度(μm

A015

Profile Star

1.5

A030

3.0

A050

5.0

 

3

 

代码

O型圈

J

EPDM(标准)

H23

全氟橡胶

 

 

头部双联管路组件

TEH[1] SF2

接头4(进口/出口)

F-TE-[4]-SET

4

 

代码

进口/出口

SW10M

可使用10mm Swagelok

SW8M

可使用8mm Swagelok

SW12

可使用3⁄4英寸Swagelok

SW6

可使用3⁄8英寸Swagelok

 

4接头不安装在双联管路组件上,需要单独订购。
   每套接头包括两对喷嘴:用于入口/出口和通气/排液。


接头(通气/排液)

F-TEV-[5]-SET

5

 

代码

通气/排液

SW8M

可使用8mm Swagelok

SW6M

可使用6mm Swagelok

SW4

可使用1⁄4英寸Swagelok

 

如需塑料螺母,请联系颇尔

规格和可用性:该文件发布时已对其中信息准确性进行了审核,

产品数据如有更新,恕不另行通知。
如需了解当前详情,请咨询您的本地颇尔办事处或经销商。


虚拟滤囊(空滤囊用于清洗)

 

部件编号

尺寸

TEY05000J

5英寸

TEY1000J

10英寸

 



代表性部件编号示例

滤囊

TEY05A015J
TEY05A030J
TEY05A050J
TEY05A015H23
TEY05A030H23
TEY05A050H23
TEY1A015J
TEY1A030J
TEY1A050J
TEY1A015H23
TEY1A030H23
TEY1A050H23

 

 

虚拟滤囊
(空滤囊用于清洗)

TEY05000J
TEY1000J

头部双联管路组件

TEH05SF2
TEH1SF2

 

 

连接

F-TE-SW10M-SET
F-TE-SW8M-SET
F-TE-SW12-SET
F-TE-SW6-SET
F-TEV-SW8M-SET
F-TEV-SW6M-SET
F-TEV-SW4-SET

 

分类信息

半导体

检查

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