UltiKleen™ G3和G2 HiT KC总成 product photo Primary L

UltiKleen™ G3 and G2 HiT KC Assemblies

UltiKleen HiT KC总成使用专有流路改进专门制成,可在苛刻的化学处理条件下实现可靠的高颗粒清除效率,此类处理条件可见于高温SPM应用。 UltiKleen HiT KC总成设计满足关键的单通使用点滤除要求,可产生大流量,因此也适用于循环槽应用。经改进的不去湿特性有助于半导体制造商满足32nm以上制造工艺的关键化学过程过滤要求。颇尔还提供先进的超低可溶出物Me-KleenSM K7后处理工艺,可将金属离子溶出物降至较低的个位数总ppb值。 UltiKleen G3 KC T型流总成比UltiKleen G2 KC T型流的直径稍大,但两者的面对面密封距离相同1,从而可轻松互换总成。G3总成直径增加,装有更大尺寸的UltiKleen Excellar ER过滤器,该过滤器具有较大的过滤面积和坚固支撑,因此可产生较大流量和更长使用寿命。 • 改进高温颗粒滤除 • 滤除超过95%的15nm金胶体 • 2.6m2/28ft2的较大标称过滤面积 • 大流量 • 全超高纯氟聚合物结构 • 低溶出(可选择Me-Kleen K7) • 包装中超纯水100%预湿 • 下游内芯通气口可减少气泡汇集及过早堵塞


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描述

UltiKleen HiT KC总成使用专有流路改进专门制成,可在苛刻的化学处理条件下实现可靠的高颗粒清除效率,此类处理条件可见于高温SPM应用。 UltiKleen HiT KC总成设计满足关键的单通使用点滤除要求,可产生大流量,因此也适用于循环槽应用。经改进的不去湿特性有助于半导体制造商满足32nm以上制造工艺的关键化学过程过滤要求。颇尔还提供先进的超低可溶出物Me-KleenSM K7后处理工艺,可将金属离子溶出物降至较低的个位数总ppb值。 UltiKleen G3 KC T型流总成比UltiKleen G2 KC T型流的直径稍大,但两者的面对面密封距离相同1,从而可轻松互换总成。G3总成直径增加,装有更大尺寸的UltiKleen Excellar ER过滤器,该过滤器具有较大的过滤面积和坚固支撑,因此可产生较大流量和更长使用寿命。 • 改进高温颗粒滤除 • 滤除超过95%的15nm金胶体 • 2.6m2/28ft2的较大标称过滤面积 • 大流量 • 全超高纯氟聚合物结构 • 低溶出(可选择Me-Kleen K7) • 包装中超纯水100%预湿 • 下游内芯通气口可减少气泡汇集及过早堵塞

规格

构成材质

 

部件

材料

滤材

表面改性PTFE

滤膜背衬

PFA/PTFE

内芯

PFA

外部网罩

PFA

端盖

PFA

壳体

PFA

 

 

 

产品名称

UltiKleen G3 HiT KC总成

UltiKleen G2 HiT KC总成

滤除精度

30nm

15nm

30nm

15nm

标称过滤器面积

2.1m2/23英尺2

2.6m2/28英尺2

1.3m2/14英尺2

1.7m2/18英尺2

结构

T型流、直列式

T型流、直列式、L型流

最高工作温度

180ºC/356ºF

最大工作压力

0.5MPaG(72.5psig)@25ºC(77ºF)
0.4MPaG(58.0psig)@60ºC(140ºF)
0.35MPaG(50.7psig)@90ºC(194ºF)
0.20MPaG(29.0psig)@120ºC(248ºF)
0.15MPaG(21.8psig)@150ºC(302ºF)
0.12MPaG(17.4psig)@180ºC(356ºF)

 



UltiKleen G3 HiT KC总成
尺寸(标称)






UltiKleen G2 HiT KC总成
尺寸(标称)




 

G2 Kleen-Change总成(LDFG/LDFV)

 

在线

标称长度(L
mm/英寸)

T

标称长度(L
mm/英寸)

VT

标称长度(L
mm/英寸)

12E2

396.5/15.6

12E2

408/ 16.1

12E2

377/14.8

12E51

412/16.2

12E71

403/15.9

128E2

385/15.2

124E51

412/16.2

13E0

495/19.5

12E71/72

377/14.8

16E8

428/16.9

13E1

432/17

128E71/72

402/15.8

16E51

436/17.2

13E2

442/17.4

13E1

445/17.5

17E0

448/17.6

13E6

416/16.4

13E51

444/17.4

17E1

445/17.7

13E9

433/17.1

168E71/72

403/15.9

17E51

442/17.4

13E51

473/18.6

 

17E71

462/18.2

13E71

444/17.5

 

L

VL

12E2

408/16.1

12E2

440/17.35

 

3 Pillar是日本Pillar包装有限公司的商标。

 

性能

压降及介质流量2

UltiKleen G3 HiT KC总成
1英寸T型流、直列式




3
4英寸T型流、直列式




UltiKleen G2 HiT KC总成
1英寸T型流、直列式



3
4英寸T型流、直列式、L型流


2非水介质的压差应乘以液体粘度(厘泊)。单位换算:1=0.1MPa

类型

总成、滤囊、滤膜和材料

用途

过滤

应用

化学品

订购信息

 

订购信息-UltiKleen G3 HiT KC总成

部件编号=LDFH [1] 1HGP [2] [3] E [4] [5]

表1

 

代码

流量

T

T型流

N

直列式

 

表2

 

代码

滤除精度

15

15nm

30

30nm

 

表34

 

代码

进口/出口

通气口/排液口

Memo

头端

滤筒端

12

34英寸公头

12英寸公头

12英寸母头

T型流

128

34英寸公头

12英寸公头

12英寸公头

T型流

16

1英寸公头

12英寸公头

12英寸母头

T型流

164

1英寸公头

14英寸公头

14英寸公头

直列式

168

1英寸公头

12英寸公头

12英寸公头

T型流

 

表4

 

代码

接头

2

Super Pillar型(日本Pillar)

51

喇叭口型

71

Super Pillar 300P系列(日本Pillar)

72

Super Pillar 300P系列L型(日本Pillar)

 

表5

 

代码

预润湿选项

-K3

预湿过滤器(包装在去离子水中)

-K7

预湿过滤器(包装在去离子水中)、低金属可溶出物5

 

订购信息-UltiKleen G2 HiT KC总成

部件编号=LDF [1] 1HGP [2] [3] E [4] [5]

表1

 

代码

流量

VT

T型流

GN

直列式

VL

L型流

 

表2

 

代码

滤除精度

15

15nm

30

30nm

 

表34

 

代码

进口/出口

通气口/排液口

Memo

头端

滤筒端

12

34英寸公头

12英寸公头

12英寸母头

T型流/L型流

12

34英寸公头

38英寸公头

38英寸公头

直列式

124

34英寸公头

14英寸公头

14英寸公头

直列式

128

34英寸公头

12英寸公头

12英寸公头

T型流

13

34英寸母头

12英寸母头

12英寸母头

T型流

16

1英寸公头

12英寸公头

12英寸母头

T型流

16

1英寸公头

38英寸公头

38英寸公头

直列式

164

1英寸公头

14英寸公头

14英寸公头

直列式

168

1英寸公头

12英寸公头

12英寸公头

T型流

17

1英寸母头

12英寸母头

12英寸母头

直列式

 

表4

 

代码

接头

0

无接头

1

20系列(Flowell)

2

Super Pillar型(日本Pillar)

51

喇叭口型

6

尾部闭锁(Krabo)

71

Super Pillar 300P系列(日本Pillar)

72

Super Pillar 300P系列L型(日本Pillar)

9

11CR系列(Flowell)

 

表5

 

代码

预润湿选项

-K3

预湿过滤器(包装在去离子水中)

-K7

预湿过滤器(包装在去离子水中)、低金属可溶出物5

 

4一次性囊式过滤器并非可使用所有选项。请联系颇尔咨询部件编号可用性。
5 请联系颇尔了解可溶出物条件。

分类信息

半导体

检查

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