描述
新开发的Ulti蚀刻过滤器用于提高循环蚀刻槽的清洗性能。
晶片直径增加导致蚀刻槽体积和泵尺寸也在增加，致使循环蚀刻槽过滤器中产生更大的表面速度。
新月形Ultipleat®过滤器利用颇尔最新过滤技术设计，可提高蚀刻槽的快速清洗性能特性。
• 迅速清洗含有的蚀刻槽
• 在BOE（HF/NH4F混合液）中自动润湿
• 极大流量
• 快速浴槽周转
• 不需预润湿
• 优异的颗粒滤除效果
• 亲水改性为化学键合而非涂装
• 低溶出物量
• 在洁净室环境中生产
规格
材料
- 滤材：亲水性PVDF
- 内芯、网罩和端盖：聚丙烯
- 背衬和排液：聚丙烯O型圈选项：Viton1 A和Teflon1包封Viton氟橡胶
滤除精度
- 循环模式下为1μm
结构
- 标称长度：10英寸/254mm
- 直径：75英寸/70mm
- O型圈尺寸/端盖：3号（222双O型圈/平端）
工作条件
- 最高温度：165°F/75°C
- 最大压差：30psid/2bar
性能
压降及介质流量2
2 如果液体粘度不同于水，压降应乘以粘度（厘泊）。
典型性能特性3
3 清洗加入颗粒的200mm蚀刻槽，33Hp泵、38.5升循环蚀刻槽使用PMS M65监测计数。PMS-粒子观测系统，Boulder, CO.
类型
滤筒和滤芯
用途
过滤
应用
化学品
订购信息
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部件编号 |
标称长度（英寸/mm） |
O型圈材料4 |
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AB1UVI3EHF |
10/254 |
Viton A |
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AB1UVI3EH1 |
10/254 |
包封Teflon的Viton氟橡胶 |
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MR1UVI3EHF |
10/254 |
Viton A |
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MR1UVI3EH1 |
10/254 |
包封Teflon的Viton氟橡胶 |
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4 可选其它O型圈材料。
单位换算：1巴=100千帕
分类信息
半导体
检查
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