FlexBowl™过滤器压力容器系统 product photo Primary L

FlexBowl™ Filter Housings

FlexBowl单滤芯过滤器压力容器系统专门设计用于半导体制造中的挑战性超纯化学应用。满足了颇尔对清洁度、纯度、相容性与机械强度的高标准要求,这与其Megaplast™滤壳和Kleen-Change®总成相同。该系统采用极其灵活的柔性设计,能够更简单和更安全地使用过滤器,并且降低了拥有成本。 FlexBowl系统设计的灵活性关键在于其采用通用型双联管路组件,该组件可容纳完全一次性的囊式总成或可再用滤壳,这两者都易于使用锁紧环的直角转弯连接双联管路组件。 颇尔为FlexBowl压力容器系统提供许多滤壳和滤囊总成选择,从而最大程度地提高灵活性。滤壳可选4英寸(102mm)、10英寸(254mm)和20英寸(508mm)尺寸。10英寸(254mm)滤壳用于匹配直径高达3.25英寸(82.5mm)和标称长度为10英寸(254mm)的标准10英寸(254mm)滤芯。此外,还为该系统提供各种不同尺寸和类型的标准半导体工业进口和出口接头。 观看视频,了解更多信息


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描述

FlexBowl单滤芯过滤器压力容器系统专门设计用于半导体制造中的挑战性超纯化学应用。满足了颇尔对清洁度、纯度、相容性与机械强度的高标准要求,这与其Megaplast™滤壳和Kleen-Change®总成相同。该系统采用极其灵活的柔性设计,能够更简单和更安全地使用过滤器,并且降低了拥有成本。 FlexBowl系统设计的灵活性关键在于其采用通用型双联管路组件,该组件可容纳完全一次性的囊式总成或可再用滤壳,这两者都易于使用锁紧环的直角转弯连接双联管路组件。 颇尔为FlexBowl压力容器系统提供许多滤壳和滤囊总成选择,从而最大程度地提高灵活性。滤壳可选4英寸(102mm)、10英寸(254mm)和20英寸(508mm)尺寸。10英寸(254mm)滤壳用于匹配直径高达3.25英寸(82.5mm)和标称长度为10英寸(254mm)的标准10英寸(254mm)滤芯。此外,还为该系统提供各种不同尺寸和类型的标准半导体工业进口和出口接头。 观看视频,了解更多信息

规格

 

材料

可再用滤壳

  • 双联管路组件和滤筒:高纯度PFA
  • O型圈:包封氟聚合物的氟橡胶
  • 锁环:PVDF

一次性总成

  • 双联管路组件:高纯度PFA
  • 滤囊总成:高纯度PFA(G2和G3)或HDPE(AB型)

双联管路组件

  • 锁环:聚醚酰亚胺(PEI)



连接

  • 进口/出口:34英寸和1英寸Pillar234英寸柱和1英寸喇叭口型或1英寸对头焊接管
  • 通气口和排液口:12英寸Pillar、12英寸喇叭口型或12英寸对头焊接



工作条件

最高工作温度:
FlexBowl PFA G2滤壳

95°C (203°F)

FlexBowl PFA G2和G3一次性总成

  • 100°C (212°F)

FlexBowl HDPE一次性总成

  • 50°C (122°F)

最大工作压力:FlexBowl PFA G2滤壳

  • 30°C(86°F)时为56兆帕(80psid)
  • 95°C(200°F)时为28兆帕(40psid)

FlexBowl PFA G2和G3一次性总成

  • 25°C(77°F)时为5兆帕(73psid)
  • 100°C(212°F)时为3兆帕(44psid)

FlexBowl HDPE一次性总成

  • 25°C(77°F)时为4兆帕(58psid)
  • 50°C(122°F)时为15兆帕(21psid)

2Pillar是日立Pillar包装有限公司的商标。

性能

FlexBowl滤囊总成

元件的压降与介质流量3

0.75英寸喷嘴




3对于粘度不同于水的液体,压降应乘以粘度(厘泊)。

类型

滤壳

用途

过滤

应用

化学品

订购信息

 

部件编号

描述

连接
进口、出口/通气、排液

标称长度(L
mm/英寸)

完整滤壳系统

FBMH04T17E71H1

4英寸完整滤壳系统

1英寸柱/12英寸柱

396.14 / 15.60

FBMH04T13E71H1

4英寸完整滤壳系统

34英寸柱/12英寸柱

396.14 / 15.60

FBMH04T17E51H1

4英寸完整滤壳系统

1英寸喇叭口型/12英寸喇叭口型

351.04 / 13.82

FBMH04T13E51H1

4英寸完整滤壳系统

34英寸喇叭口型/12英寸喇叭口型

351.04 / 13.82

FBMH04T16EBWH1

4英寸完整滤壳系统

1英寸对头焊接/12英寸对头焊接

335.69 / 13.22

FBMH04T174E51H14

4英寸完整滤壳系统

1英寸喇叭口型/14英寸喇叭口型

346.96 / 13.66

FBMH04T134E51H14

4英寸完整滤壳系统

34英寸喇叭口型/14英寸喇叭口型

346.96 / 13.66

FBMH1T17E71H1

10英寸完整滤壳系统

1英寸柱/12英寸柱

528.64 / 20.81

FBMH1T13E71H1

10英寸完整滤壳系统

34英寸柱/12英寸柱

528.64 / 20.81

FBMH1T17E51H1

10英寸完整滤壳系统

1英寸喇叭口型/12英寸喇叭口型

483.54 / 19.04

FBMH1T13E51H1

10英寸完整滤壳系统

34英寸喇叭口型/12英寸喇叭口型

483.54 / 19.04

FBMH1T16EBWH1

10英寸完整滤壳系统

1英寸对头焊接/12英寸对头焊接

468.19 / 18.43

FBMH1T174E51H14

10英寸完整滤壳系统

1英寸喇叭口型/14英寸喇叭口型

479.54 / 18.88

FBMH1T134E51H14

10英寸完整滤壳系统

34英寸喇叭口型/14英寸喇叭口型

479.54 / 18.88

FBMH2T17E71H1

20英寸完整滤壳系统

1英寸柱/12英寸柱

784.14 / 30.87

FBMH2T13E71H1

20英寸完整滤壳系统

34英寸柱/12英寸柱

784.14 / 30.87

FBMH2T17E51H1

20英寸完整滤壳系统

1英寸喇叭口型/12英寸喇叭口型

744.54 / 29.31

FBMH2T13E51H1

20英寸完整滤壳系统

34英寸喇叭口型/12英寸喇叭口型

744.54 / 29.31

FBMH2T16EBWH1

20英寸完整滤壳系统

1英寸对头焊接/12英寸对头焊接

723.69 / 28.49

仅双联管路组件

FBMT17E71

仅双联管路组件

1英寸柱/12英寸柱

144.01 / 5.67

FBMT13E71

仅双联管路组件

34英寸柱/12英寸柱

144.01 / 5.67

FBM17E51

仅双联管路组件

1英寸喇叭口型/12英寸喇叭口型

136.14 / 5.36

FBM13E51

仅双联管路组件

34英寸喇叭口型/12英寸喇叭口型

136.14 / 5.36

FBM16EBW

仅双联管路组件

1英寸对头焊接/12英寸对头焊接

129.79 / 5.11

4双联管路组件通气孔和排液孔为12英寸喇叭口型,滤筒为14英寸喇叭口型。

部件编号5

描述

连接
进口、出口/通气、排液

标称长度(L
mm/英寸)

完整G2总成系统6

不适用

10英寸完整G2总成系统

1英寸柱/12英寸柱

517 / 20.35

不适用

10英寸完整G2总成系统

34英寸柱/12英寸柱

517 / 20.35

不适用

10英寸完整G2总成系统

1英寸喇叭口型/12英寸喇叭口型

511 / 20.12

不适用

10英寸完整G2总成系统

34英寸喇叭口型/12英寸喇叭口型

511 / 20.12

不适用

10英寸完整G2总成系统

1英寸对头焊接/12英寸对头焊接

待定

完整G3总成系统6

不适用

10英寸完整G3总成系统

1英寸柱/12英寸柱

547 / 21.53

不适用

10英寸完整G3总成系统

34英寸柱/12英寸柱

547 / 21.53

完整PE总成系统6

不适用

10英寸完整PE总成系统

34英寸喇叭口型/14英寸喇叭口型

466 / 18.36

G2滤囊

LDFBGT1GPKLE51K3

10英寸G2滤囊

不适用/12英寸喇叭口型

374.86 / 14.76

LDFBGT1GPKLE71K3

10英寸G2滤囊

不适用/12英寸柱

待定

LDFBGT1GPQLE51K3

10英寸G2滤囊

不适用/12英寸喇叭口型

374.86 / 14.76

LDFBGT1GPQLE71K3

10英寸G2滤囊

不适用/12英寸柱

待定

LDFBGT1GPDLE51K3

10英寸G2滤囊

不适用/12英寸喇叭口型

374.86 / 14.76

LDFBGT1GPDLE71K3

10英寸G2滤囊

不适用/12英寸柱

待定

LDFBGT1UCFDLE51K3

10英寸G2滤囊

不适用/12英寸喇叭口型

374.86 / 14.76

LDFBGT1UCFDLE71K3

10英寸G2滤囊

不适用/12英寸柱

待定

LDFBGT1UCFTLE51K3

10英寸G2滤囊

不适用/12英寸喇叭口型

374.86 / 14.76

LDFBGT1UCFTLE71K3

10英寸G2滤囊

不适用/12英寸柱

待定

LDFBGT1UCFRLE51K3

10英寸G2滤囊

不适用/12英寸喇叭口型

374.86 / 14.76

LDFBGT1UCFRLE71K3

10英寸G2滤囊

不适用/12英寸柱

待定

LDFBGT1STQDE51K3

10英寸G2滤囊

不适用/12英寸喇叭口型

374.86 / 14.76

LDFBGT1STQDE71K3

10英寸G2滤囊

不适用/12英寸柱

待定

LDFBGT1XXXXEBWK3

10英寸G2滤囊

不适用/12英寸对头焊接

待定

G3囊式过滤器7

LDFBHT1XXXXE71K3

10英寸G3滤囊

不适用/12英寸柱

待定

HDPE滤囊

LDDFBT1UHSQE518

10英寸PE滤囊

不适用/14英寸喇叭口型

待定

滤壳组件

FBHT04EBWH1

4英寸G2滤筒

不适用/12英寸对头焊接

FBHT044E51H1

4英寸G2滤筒

不适用/14英寸喇叭口型

FBHT04E51H1

4英寸G2滤筒

不适用/12英寸喇叭口型

FBHT04E71H1

4英寸G2滤筒

不适用/12英寸柱

FBHT1EBWH1

10英寸G2滤筒

不适用/12英寸对头焊接

FBHT14E51H1

10英寸G2滤筒

不适用/14英寸喇叭口型

FBHT1E51H1

10英寸G2滤筒

不适用/12英寸喇叭口型

FBHT1E71H1

10英寸G2滤筒

不适用/12英寸柱

FBHT2EBWH1

20英寸G2滤筒

不适用/12英寸对头焊接

FBHT2E51H1

20英寸G2滤筒

不适用/12英寸喇叭口型

FBHT2E71H1

20英寸G2滤筒

不适用/12英寸柱

5部件编号后缀K3表示过滤器使用去离子水预湿和包封,对于低金属离子Me-KleenSM预处理选项,使用K7替代K3
6双联管路组件和滤囊须单独订购。
7请联系您的颇尔代表,了解G3选项的更多信息。
8对于低金属离子Me-KleenSM预处理选项,在部件编号的末端添加K6
单位转换:1兆帕=10巴

 

 

分类信息

半导体

检查

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