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微电子工业使用的DFA紧凑囊式过滤器 product photo Primary L

DFA Compact Capsule Filters for the Microelectronics Industry

DFA过滤器总成是一种方便、易于使用且具有成本效益的的囊式过滤器，设计用于相对较低的流速和小体积批量过程。 滤膜和连接器选择的灵活性适用于各种通用工业应用。 特性和优势 • 各种滤材（PTFE、尼龙6,6、亲水性PVDF、HDPE和聚丙烯） • 各种连接器选择（Swagelok1、Pillarfitting2、NPT和火炬型） • 全聚合物结构 • 免O型圈设计 • 易于定制过滤系统，适用各种流速以及滤除精度要求 • 能够通气以及快速和简单排液 • 低滞留体积 1 Swagelok公司的商标 2 Nippon Pillar包装有限公司的商标
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描述

DFA过滤器总成是一种方便、易于使用且具有成本效益的的囊式过滤器，设计用于相对较低的流速和小体积批量过程。 滤膜和连接器选择的灵活性适用于各种通用工业应用。 特性和优势 • 各种滤材（PTFE、尼龙6,6、亲水性PVDF、HDPE和聚丙烯） • 各种连接器选择（Swagelok1、Pillarfitting2、NPT和火炬型） • 全聚合物结构 • 免O型圈设计 • 易于定制过滤系统，适用各种流速以及滤除精度要求 • 能够通气以及快速和简单排液 • 低滞留体积 1 Swagelok公司的商标 2 Nippon Pillar包装有限公司的商标

规格

Emflon®

Ultipor® N66

Ultipleat® P-Nylon

Fluorodyne®

材料

滤芯

PTFE（疏水）

尼龙6,6（亲水）

尼龙6,6（亲水）

PVDF（亲水）

其它部件

聚丙烯

聚酯、聚丙烯

HDPE、聚丙烯

聚丙烯

滤除精度

0.05μm、0.1μm、0.2μm和0.45μm

0.1μm、0.2μm

10nm、20nm、40nm和0.15μm

0.1μm、0.2μm

最高工作温度

38˚C/100˚F

38˚C/100˚F

38˚C/100˚F

38˚C/100˚F

最高工作压力
（38°C/100°F）

液体

0.49MPaG

0.49MPaG

0.49MPaG

0.49MPaG

气体

0.34MPaG

0.34MPaG

0.34MPaG

0.34MPaG

最高压差
（38°C/100°F）

0.34MPa

0.34MPa

0.34MPa

0.34MPa

主要应用

通气
工艺气体
有机溶剂

光刻胶
显影剂
去离子水

光刻胶
显影剂
去离子水

超纯去离子水
水性化学品

最小订购量

6pcs

6pcs

6pcs

6pcs


P Emflon®

PE-Kleen

HDC® II

Profile® Star

材料

滤芯

PTFE（疏水）

HDPE

聚丙烯

聚丙烯

其它部件

HDPE、聚丙烯

HDPE、聚丙烯

聚丙烯

聚丙烯

滤除精度

0.05μm、0.1μm、0.2μm

5nm3、10nm、30nm、0.05μm、1μm

0.6μm、1.2μm、2.5μm、4.5μm、6μm、10μm、20μm、40μm、70μm

0.8μm、1μm、1.5μm、3μm、5μm

最高工作温度 

38˚C/100˚F

38˚C/100˚F

38˚C/100˚F

38˚C/100˚F

最高工作压力
（38°C/100°F）

液体

0.49MPaG

0.49MPaG

0.49MPaG

0.49MPaG

气体

0.34MPaG

0.34MPaG

0.34MPaG

0.34MPaG

最高压差
（38°C/100°F）

0.34MPa

0.34MPa

0.34MPa

0.34MPa

主要应用

光阻
有机溶剂
化学品

光阻
有机溶剂
化学品

酸、碱
去离子水
溶剂

悬浮液
高粘度流体
涂料

最小订购量

6件

6件

6件

6件

35nm可用于DFA1、DFA2和DFA6402。

性能

典型流动特性–1cP流体、20ºC




典型流动特性–1cP流体、20ºC




典型流动特性–1cP流体、20ºC

类型

总成、滤囊

用途

过滤,  液体

应用

光刻化学品

订购信息

产品编号/订购信息（DFA1、2系列）


DFA [1] [2] [3]

表1：结构

1

用于小流量

2

用于中等流量


表2：滤膜和滤除精度选项6

Emflon8

Ultipor N66

Ultipleat® P-尼龙

Fluorodyne

代码

滤除精度

代码

滤除精度

代码

滤除精度

代码

滤除精度

FDE 8

0.05μm

NIEY

0.1μm

AN01E

10nm

V001EY

0.1μm

FTE 8

0.1μm

NAEY

0.2μm

ANME

20nm

V002EY

0.2μm

FRE 8

0.2μm

ANDE

40nm

AN15E

0.15μm

 

P Emflon 8

PE-Kleen 8

HDC II 7

Profile星形7

代码

滤除精度

代码

滤除精度

代码

滤除精度

代码

滤除精度

UFDE 8

0.05μm

UG5E 8

5nm

J006 7

0.6μm

A008 7

0.8μm

UFTE 8

0.1μm

UG001E 8

10nm

J012 7

1.2μm

A010 7

1μm

UFRE 8

0.2μm

UG003E 8

30nm

J025 7

2.5μm

A015 7

1.5μm

UG005E 8

0.05μm

J045 7

4.5μm

A030 7

3μm

UG100E 8

1μm

J060 7

6μm

A050 7

5μm

J100 7

10μm

J200 7

20μm

J400 7

40μm

J700 7

70μm

 

表3：连接器选项

代码

进口/出口

通气/排液

尺寸

连接

尺寸

连接

DFA1

SW44

1/4"

Swagelok

1/4"

Swagelok

DFA1

SW84M

8mm

Swagelok

4mm

Swagelok

DFA1

NP64

3/8"

Pillarfitting

4mm

Pillarfitting

DFA1

NP64M

6mm

Pillarfitting

4mm

Pillarfitting

DFA1

NP64MR4

6mm

Pillarfitting

4mm

Pillarfitting

DFA1

NP84M

8mm

Pillarfitting

4mm

Pillarfitting

DFA1

NP84MR4

8mm

Pillarfitting

4mm

Pillarfitting

DFA2

FL6

3/8"

火炬型

无

无

DFA2

FL64

3/8"

火炬型

1/4"

火炬型

DFA2

NP64

3/8"

Pillarfitting

1/4"

Pillarfitting

DFA2

NP84M

8mm

Pillarfitting

4mm

Pillarfitting

DFA2

NP124M

12mm

Pillarfitting

4mm

Pillarfitting

DFA2

NP124MR4

12mm

Pillarfitting

4mm

Pillarfitting

DFA2

SW84

1/2"

Swagelok

1/4"

Swagelok
4R选项用于进口/出口无套筒和螺母的重复订购产品。
5其它配件选项请联系颇尔。
6部件编号中的E字母代表电子级产品。
7额外清洗选项（F）可用于HDC II和Profile星型过滤器。
8S级选项经过处理，具有非常低的初始可溶出物。
<注>并非始终可提供组合所有代码的部件编号。请联系颇尔获取部件编号可用性。


最小订购量和包装单位：6件


代表性部件编号示例

DFA1FRESSW44
DFA1FTESNP64M
DFA1FTESNP84M
DFA1FDESNP64M
DFA1FDESNP84M
DFA1ANDENP64M
DFA2ANDEFL64
DFA2ANDENP64R
DFA1ANMENP64M
DFA2ANMENP64R		 DFA1UNIENP64M
DFA1UNIENP84M
DFA2UNIEFL64
DFA1UNDENP64M
DFA1UNDNP84M
DFA2UNDEFL64
DFA2UNDENP64R
DFA2UNDENP84M
DFA2UNMENP84M
DFA2UNMENP64R
DFA2NUMEFL64		 DFA1NAEYSW44
DFA1NIEYNP64M
DFA1NIEYNP84M
DFA1NIEYSW44
DFA1V001EYSW44
DFA2UG001EFL64



部件编号/订购信息（DFA3201、4201、5301、6402系列）


DFA [4] [5]

表4：连接器选项

配件
代码

进口/出口

通气/排液

尺寸

连接

尺寸

连接

3201

3/8"

软管

1/8"

NPT公头

4201

1/4"

NPT公头

1/8"

NPT公头

5301

6mm

Swagelok

4mm

Swagelok

6402

3/8"

Swagelok

1/4"

Swagelok


表5：滤膜和滤除精度选项9

Emflon11

Ultipor N66

Ultipleat® P-尼龙

Fluorodyne

代码

滤除精度

代码

滤除精度

代码

滤除精度

代码

滤除精度

FDE 11

0.05μm

NIEY

0.1μm

AN01E

10nm

V001EY

0.1μm

FTE 11

0.1μm

NAEY

0.2μm

ANME

20nm

V002EY

0.2μm

FRE 11

0.2μm

ANDE

40nm

FXE 11

0.45μm

AN15E

0.15μm


P Emflon 11

PE-Kleen 11

HDC II 10

Profile星形10

代码

滤除精度

代码

滤除精度

代码

滤除精度

代码

滤除精度

UFDE 11

0.05μm

UG5E 11

5nm

J006 10

0.6μm

A008 10

0.8μm

UFTE 11

0.1μm

UG001E 11

10nm

J012 10

1.2μm

A010 10

1μm

UFRE 11

0.2μm

UG003E 11

30nm

J025 10

2.5μm

A015 10

1.5μm

UG005E 11

0.05μm

J045 10

4.5μm

A030 10

3μm

UG100E 11

1μm

J060 10

6μm

A050 10

5μm

J100 10

10μm

J200 10

20μm

J400 10

40μm

J700 10

70μm

9部件编号中的E字母代表电子级产品。
10额外清洗选项（F）可用于HDC II和Profile星型过滤器。
11S级选项经过处理，具有非常低的初始可溶出物。
124201J012、4201J025和DFA3201中有标识为P，但性能未变。
<注>并非始终可提供组合所有代码的部件编号。请联系颇尔获取部件编号可用性。


最小订购量和包装单位：6件


代表性部件编号示例

DFA4201FRES
DFA4201FTES
DFA6402FTES
DFA4201FDES
DFA6402FDE
DFA6402FDES
DFA6402ANDE
DFA6402ANME		 DFA4201UNAE
DFA4201UNIE
DFA6402UNAE
DFA6402UNIE
DFA6402UNDE		 DFA6402NAEY
DFA6402NIEY
DFA4201V002EY
DFA4201V001EY
DFA6402UG100E
DFA4201UG015E
DFA4201UG007E
DFA6402UG007E
DFA4201UG005E
DFA6402UG005E
DFA6402UG003E

分类信息

半导体、LED

检查

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