VaraClean CET系列滤芯 product photo Primary L

VaraClean CET Series Filter Cartridges

用于镀铜应用的大表面积不对称薄膜滤芯 • 设计用于下一代镀铜化学物质,包括90nm和65nm节点。 • 兼容所有铜配方和添加剂包 • >99.9%的绝对额定效率,滤除精度为0.05μm和0.1μm • 专有高不对称膜 • 机械保持捕获和保留污染物 • 在认证洁净室中生产,使用18Ω-cm超纯水预冲洗 了解更多


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描述

用于镀铜应用的大表面积不对称薄膜滤芯 • 设计用于下一代镀铜化学物质,包括90nm和65nm节点。 • 兼容所有铜配方和添加剂包 • >99.9%的绝对额定效率,滤除精度为0.05μm和0.1μm • 专有高不对称膜 • 机械保持捕获和保留污染物 • 在认证洁净室中生产,使用18Ω-cm超纯水预冲洗 了解更多

规格

构成材质

滤材

高度不对称的聚砜膜

硬件

聚丙烯

密封

热结合

背衬材料

聚酯

O型圈/垫圈

硅橡胶、Nordel3、丁腈橡胶、包封FEP的氟橡胶、氟橡胶

尺寸(标称)

  • 外径:66mm(2.6英寸)
  • 长度:102 mm(4英寸)、254mm(10英寸)、508mm(20英寸)、762mm(30英寸)、1016mm(40英寸)

Nordel是陶氏化学公司的商标。

性能

性能规格

过滤器精度1

0.05μm、0.1μm、0.2μm

最大前向压差

  • 20°C(68 °F)时为5.5巴(80psid)
  • 95 °C(203 °F)时为1.4巴(20psid)

建议更换压差2

2.4巴(35psid)

化学相容性

滤囊抗多数酸和碱(pH 1-14)和多数氧化剂。

冲洗

滤芯将以最小通量冲洗至进口阻力

1 标准乳胶小珠激发测定>99.9%的滤除精度
2 假定根据以上规定温度限值未超过最大压差。



介质滤除精度(μm)和流量规格

滤芯名称

>99.9%效率

额定去离子水流量(mbard/lpmpsid/gpm)、10英寸当量)

VCET050

0.05

9.1/0.5

VCET100

0.1

6.0/0.33

VCET200

0.2

4.6/0.25

类型

滤筒和滤芯

用途

过滤

应用

化学品

订购信息

本信息是部件编号结构和可选择项的指示说明。有关特定选项是否可选以及滤壳详情,请联系颇尔。
部件编号示例:VCET100-10M3S (参见下表所示的粗体参考信息)
部件编号:
VCET <表1中的过滤器精度代码> <表2中的滤芯长度代码> <表3中的端盖结构代码 > <表4中的垫圈/O型圈材料代码>

表1-过滤器精度

代码

过滤精度(μm

050

0.05

100

0.1

200

0.2

表2-过滤器长度

代码

标称滤芯长度(cm/英寸)

04

10.2/4

10

25.4/10

20

50.8/20

30

76.2/30

40

102/40

表3-滤芯端盖结构

代码

滤芯端盖结构

M2

SOE平整封闭端配合020 O型圈位

M3

SOE平整型端部封闭、外部222 O型圈(改造其它生产商的代码0)4

M5

DOE内部120 O型圈(改装213 O型圈型)4

M7

SOE翼端、外部226 O型圈(改造其它生产商的代码7)4

M8

SOE翼端、外部222 O型圈(改造其它生产商的代码5)4

M10

DOE内部O型圈(改装其它生产商的滤壳)4

DOE

带弹性体垫圈密封件和端盖的DOE

表4-垫圈/O型圈材料

代码

垫圈/O型圈材料

S

硅橡胶

E

Nordel

V

氟橡胶

N

丁腈橡胶

F

包封FEP的氟橡胶(O型圈)

T

FEP灌封硅橡胶(O型圈)

T

包封PTFE(垫圈)

4有关详情,请联系颇尔公司。

分类信息

半导体

检查

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