UltiKleen™ G2 KC总成 product photo Primary L

UltiKleen™ G2 KC Assemblies

颇尔UltiKleen G2 KC总成是一种完全一次性过滤器装置。与传统总成设计相比,颇尔UltiKleen G2 KC总成的流动性得到极大提高,使其理想适用于300mm晶片制造工艺的过程化学应用。褶上铺过滤器设计可实现在紧凑型结构中将有效过滤面积提高至2.2m2,从而增加使用寿命,提高过滤流量。在发货前对内置UltiKleen滤芯进行酸洗,从而保证低金属离子含量。UltiKleen G2 KC总成具有优异的耐化学性和耐热性,使其成为多数半导体化学过程应用的首选。 UltiKleen G2 KC总成是一款理想的升级过滤器,可提高过滤器性能。 特点 • 与标准滤褶结构相比,优化的褶上铺结构使过滤面积几乎增加一倍。 • 滤芯一体式密封在滤壳中的一次性过滤器装置 • 可选择低溶出Me-KleenSM,确保低金属含量。 • 密封总成可增加操作安全性,完善对有害化学品的处理 • 流动特性得到极大提升,适用于300mm工艺 • 可选T型流、直列式和L型流,系统设计和改装简单 • 100%通过完整性测试


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描述

颇尔UltiKleen G2 KC总成是一种完全一次性过滤器装置。与传统总成设计相比,颇尔UltiKleen G2 KC总成的流动性得到极大提高,使其理想适用于300mm晶片制造工艺的过程化学应用。褶上铺过滤器设计可实现在紧凑型结构中将有效过滤面积提高至2.2m2,从而增加使用寿命,提高过滤流量。在发货前对内置UltiKleen滤芯进行酸洗,从而保证低金属离子含量。UltiKleen G2 KC总成具有优异的耐化学性和耐热性,使其成为多数半导体化学过程应用的首选。 UltiKleen G2 KC总成是一款理想的升级过滤器,可提高过滤器性能。 特点 • 与标准滤褶结构相比,优化的褶上铺结构使过滤面积几乎增加一倍。 • 滤芯一体式密封在滤壳中的一次性过滤器装置 • 可选择低溶出Me-KleenSM,确保低金属含量。 • 密封总成可增加操作安全性,完善对有害化学品的处理 • 流动特性得到极大提升,适用于300mm工艺 • 可选T型流、直列式和L型流,系统设计和改装简单 • 100%通过完整性测试

规格

产品规格

构成材质

 

滤材:

PTFE

滤材背衬:

PTFE

内芯:

PFA

外部网罩:

PFA

端盖:

PFA

外壳材料:

PFA

 

 

 

产品名称

UCFD

UCFT

UCFR

滤除精度

0.05μm

0.1μm

0.2μm

结构

T型流、直列式、L型流

标称过滤器面积

2.2m2/23.7ft2

最高工作温度

170ºC/338ºF

最大工作压力

25ºC(77ºF)时为0.49MPaG(71psig)
60ºC(140ºF)时为0.39MPaG(57psig)
90ºC(194ºF)时为0.34MPaG(49psig)
120ºC(248ºF)时为0.20MPaG(29psig)
150ºC(302ºF)时为0.15MPaG(22psig)
170ºC(338ºF)时为0.12MPaG(17psig)

 



尺寸

在线   L型流
In-Line   L-Flow
     
T型流   T型流下游通气口
T-Flow   T-flow Downstream Venting


UltiKleen G2 KC总成(LDFG/LDFV)

 

在线

标称长度(L
mm/英寸)

T

标称长度(L
mm/英寸)

VT

标称长度(L
mm/英寸)

12E2

396.5/15.6

12E2

408/ 16.1

12E2

377/14.8

12E51

412/16.2

12E71

403/15.9

128E2

385/15.2

124E51

412/16.2

13E0

495/19.5

12E71/72

377/14.8

16E8

428/16.9

13E1

432/17

128E71/72 402

402/15.8

16E51

436/17.2

13E2

442/17.4

13E1

445/17.5

17E0

448/17.6

13E6

416/16.4

13E51

444/17.4

17E1

445/17.7

13E9

433/17.1

168E71/72

403/15.9

17E51

442/17.4

13E51

473/18.6

 

 

17E71

462/18.2

13E71

444/17.5

 

 

 

 

L

VL

 

 

12E2

408/16.1

12E2

440/17.35

 

性能

压降及介质流量1

直列式

In-Line

L型流、T型流下游通气

L-flow, T-flow Downstream Venting

1非水介质的压差应乘以液体粘度(厘泊)。
单位换算:1=0.1MPa

类型

滤囊总成

用途

过滤

应用

化学品

订购信息

 

颇尔部件编号= LDF [1] [2] 1 UCF [3] L [4] E [5] [6]

表1

 

代码

下游通气

G

N/A

V

可用

 

表2

 

代码

流量

T

T型流动

N

直列式

L

L型流

 

表3

 

代码

滤除精度(μm

D

0.05

T

0.1

R

0.2

 

表42

 

代码

进口/出口

通气口/排液口

Memo

头端

滤筒端

12

3⁄4英寸公头

1⁄2英寸公头

1⁄2英寸公头

T型流/L型流

12

3⁄4英寸公头

1⁄2英寸公头

1⁄2英寸母头

下游通气型

12

3⁄4英寸公头

3⁄8英寸公头

3⁄8英寸公头

直列式

124

3⁄4英寸公头

1⁄4英寸公头

1⁄4英寸公头

直列式

128

3⁄4英寸公头

1⁄2英寸公头

1⁄2英寸公头

下游通气型

13

3⁄4英寸母头

1⁄2英寸母头

1⁄2英寸母头

T型流动

16

1英寸公头

1⁄2英寸公头

1⁄2英寸公头

T型流动

16

1英寸公头

1⁄2英寸公头

1⁄2英寸母头

下游通气型

16

1英寸公头

3⁄8英寸公头

3⁄8英寸公头

直列式

164

1英寸公头

1⁄4英寸公头

1⁄4英寸公头

直列式

168

1英寸公头

1⁄2英寸公头

1⁄2英寸公头

下游通气型

17

1英寸母头

1⁄2英寸母头

1⁄2英寸母头

直列式

 

表5

 

代码

接头

0

无接头

1

20系列(Flowell)

2

Super Pillar型(日本Pillar)3

51

喇叭口型

6

FinalLock4

71

Super Pillar 300P系列(日本Pillar)

72

Super Pillar 300P系列L型(日本Pillar)

8

60系列(Flowell)

9

11CR系列(Flowell)

 

表6

 

代码

预湿选项

-K3

预湿过滤器(包装在去离子水中)

-K7

预湿过滤器(包装在去离子水中)、低金属可溶出物5

 

2一次性囊式过滤器并非可用于所有选项(参见选择代码)。
3 Pillar是日本Pillar包装公司的商标。
4 FinalLockKurabo Industries有限公司的商标。
5 可溶出物条件请咨询颇尔。

分类信息

半导体

检查

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