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UltiKleen™ G2 Excellar ER过滤器和ER KC总成 product photo Primary L

UltiKleen™ G2 Excellar ER Filters and ER KC Assemblies

UltiKleen G2 Excellar ER过滤器具有较高的滤除率（ER）和不去湿性能，使半导体制造商能够满足45nm制造节点以上的关键化学过程过滤要求。该过滤器设计用于关键的单通使用点过滤，过滤流量大，因此同样适用于循环槽应用。 UltiKleen G2 Excellar ER滤材使用颇尔专有分子表面裁剪（MST）技术制成，使PTFE膜具有不去湿特性，滤材表面无需添加化学层。膜内部具有超细微孔基材，可明显提高低至15nm尺寸颗粒的滤除率，从而，可提供一种坚固可靠的化学清洗过滤器，适用于过滤具有侵蚀性的高温清洗化学剂，包括热SPM、SC-1和SC-2等水性化学物质。 特点 • 提高颗粒滤除率（ER） • 坚固的不去湿PTFE滤材 • 大流量 • 超细微孔滤材基质设计 • 全超高纯氟聚合物结构 • 低溶出物量（在1.5L的5% HCl浸提液中持续24小时，总计个位数的ppb1） • 全填满预润湿2 标配为UPW包装 • 100%通过完整性测试 1 13种元素的总金属浓度：Li、Na、Mg、Al、K、Ca、Cr、Mn、Fe、Ni、Cu、Zn、Pb。 2 包装内装满超纯水。
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描述

UltiKleen G2 Excellar ER过滤器具有较高的滤除率（ER）和不去湿性能，使半导体制造商能够满足45nm制造节点以上的关键化学过程过滤要求。该过滤器设计用于关键的单通使用点过滤，过滤流量大，因此同样适用于循环槽应用。 UltiKleen G2 Excellar ER滤材使用颇尔专有分子表面裁剪（MST）技术制成，使PTFE膜具有不去湿特性，滤材表面无需添加化学层。膜内部具有超细微孔基材，可明显提高低至15nm尺寸颗粒的滤除率，从而，可提供一种坚固可靠的化学清洗过滤器，适用于过滤具有侵蚀性的高温清洗化学剂，包括热SPM、SC-1和SC-2等水性化学物质。 特点 • 提高颗粒滤除率（ER） • 坚固的不去湿PTFE滤材 • 大流量 • 超细微孔滤材基质设计 • 全超高纯氟聚合物结构 • 低溶出物量（在1.5L的5% HCl浸提液中持续24小时，总计个位数的ppb1） • 全填满预润湿2 标配为UPW包装 • 100%通过完整性测试 1 13种元素的总金属浓度：Li、Na、Mg、Al、K、Ca、Cr、Mn、Fe、Ni、Cu、Zn、Pb。 2 包装内装满超纯水。

规格

构成材质

 

滤材：

表面改性PTFE

滤材背衬：

PFA/PTFE

内芯：

PFA

外部网罩：

PFA

端盖：

PFA

滤壳：

PFA

O型圈选项：

包封FEP的氟橡胶、Kalrez3和Chemraz4

 

3 Kalrez是杜邦公司的商标。
4Chemraz是Greene, Tweed & Co.公司的商标。

 

产品名称

UltiKleen G2 Excellar ER过滤器

UltiKleen G2 Excellar ER KC总成

滤除精度

15nm、20nm

15nm、20nm

结构

ABFG1

ABFG2

ABFG3

T型流、直列式、L型流（10英寸）

过滤面积

1.9m2/20.5ft2

3.8m2/41.0ft2

5.4m2/61.5ft2

1.9m2/20.5ft2

最高工作温度

170ºC/338ºF

170ºC/338ºF

最大工作压力

50ºC/120ºF时为0.59MPa（85.6psig）

0.5MPaG（73psig）@25ºC（77ºF）
0.4MPaG（58psig）@60ºC（140ºF）
0.35MPaG（51psig）@90ºC（194ºF）
0.20MPaG（29psig）@120ºC（248ºF）
0.15MPaG（22psig）@150ºC（302ºF）
0.12MPaG（17psig）@170ºC（338ºF）

 



尺寸（标称）

在线   L型流
In-Line   L-Flow
     
T型流   T型流下游通气口
T-Flow   T-Flow Downstream Vent

性能

典型流动特征-1厘泊流体、20℃

UltiKleen G2 Excellar ER Filters


直列式
UltiKleen G2 Excellar ER KC Assemblies - In-line

UltiKleen G2 Excellar ER KC Assemblies - T-flow, L-flow

UltiKleen G2 Excellar ER KC Assemblies - T-flow, L-flow

类型

总成、滤囊、滤筒和滤芯

用途

过滤

应用

化学品

订购信息

 

订购信息-UltiKleen G2 Excellar ER过滤器
颇尔部件编号=ABFG [1] GP[2] 3EH1 [3]

表1

 

代码

标称长度（mm/英寸）

1

244/10

2

478/20

3

726/30

 

表2

 

代码

滤除精度

15

15nm

20

20nm

 

表3

 

代码

预润湿选项

-K3

预湿过滤器（包装在去离子水中）

-K7

预湿过滤器（包装在去离子水中）、低金属可抽出物5

 

订购信息-UltiKleen G2 Excellar ER KC总成

颇尔部件编号=LDF [1] [2] 1GPK [3] [4] E  [5] [6]

表1

 

代码

下游通气

G

N/A

V

可用

 

表2

 

代码

流量

T

T型流动

N

直列式

L

L型流

 

表3

 

代码

滤除精度

15

15nm

20

20nm

 

表46

 

代码

进口/出口

通气口/排液口

Memo

头端

滤筒端

12

3⁄4英寸公头

1⁄2英寸公头

1⁄2英寸公头

T型流/L型流

12

3⁄4英寸公头

1⁄2英寸公头

1⁄2英寸母头

下游通气型

12

3⁄4英寸公头

3⁄8英寸公头

3⁄8英寸公头

直列式

124

3⁄4英寸公头

1⁄4英寸公头

1⁄4英寸公头

直列式

128

3⁄4英寸公头

1⁄2英寸公头

1⁄2英寸公头

下游通气型

13

3⁄4英寸母头

1⁄2英寸母头

1⁄2英寸母头

T型流动

16

1英寸公头

1⁄2英寸公头

1⁄2英寸公头

T型流动

16

1英寸公头

1⁄2英寸公头

1⁄2英寸母头

下游通气型

16

1英寸公头

3⁄8英寸公头

3⁄8英寸公头

直列式

164

1英寸公头

1⁄4英寸公头

1⁄4英寸公头

直列式

168

1英寸公头

1⁄2英寸公头

1⁄2英寸公头

下游通气型

17

1英寸母头

1⁄2英寸母头

1⁄2英寸母头

直列式

 

表5

 

代码

接头

0

无接头

1

20系列（Flowell）

2

Super Pillar型（日本Pillar）7

51

喇叭口型

6

FinalLock8

71

Super Pillar 300P系列（日本Pillar）

72

Super Pillar 300P系列L型（日本Pillar）

8

60系列（Flowell）

9

11CR系列（Flowell）

 

表6

 

代码

预润湿选项

-K3

预湿过滤器（包装在去离子水中）

-K7

预湿过滤器（包装在去离子水中）、低金属可溶出物5

 

5 可溶出物条件请联系颇尔
6 并非始终可提供与所有代码组合使用的部件编号。请联系颇尔咨询部件编号可用性。
7 Pillar是日本Pillar包装公司的商标。
8 FinalLock是Kurabo Industries有限公司的商标。

分类信息

半导体

检查

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