材料

• 外壳：电解抛光316L不锈钢
• ≤0.25μm/10微英寸Ra内表面处理
• 外壳满足或超过VIM/VAR规范要求

额定颗粒滤除效率

• 在高达50slpm下，10⁹清除≥3nm的颗粒

接头

• ¼”垫片密封件，凸/凸（VCR³或相容）

工作条件

·        

• 最大工作压力：100°C时为6.9Mpa/212°F时为1,000psig
• 最高使用温度：100°C/212°F（INP、SIP、FCP、SF6P）、40°C/104°F（GEH4P、OXP、CLXP、HCLP、HBRP、CDAP）
• 欧洲压力设备指令：总成符合欧盟压力容器指令2014/68/EU要求并经过CE热证

包装

·        

• 双层包装
• 铝箔外袋、聚乙烯内袋
• 端部配件使用金属垫片和盖密封
• 产品包装在氩气氛中

特定气体

杂质滤除效率

惰性气体：氮、氩、氦、氙、氪和氖

根据使用APIMS分析仪在氩气和氮气中的测试结果，<1ppb的H₂O、CO₂、O₂和CO

可燃气体：硅烷、氢、甲烷、乙烷、环丙烷、丙烷、二甲醚、乙烯、丙烯和羰基硫

根据使用APIMS分析仪在氩气和氮气中的测试结果，<1ppb的H₂O、CO₂、O₂和CO

根据使用微量水分分析仪在一氧化碳中的测试结果，<1ppb的H₂O

根据使用APIMS在硅烷中的测试结果，可将H₂O和硅烷降至痕量水平

一氧化碳

根据使用GC-ECD分析仪在一氧化碳中测试结果，<1ppb的Ni(CO)₄<10ppb、Fe(CO)₅

氟甲烷、二氟甲烷、三氟甲烷、四氟乙烷、五氟乙烷、七氟丙烷、四氟化碳、全氟丙烷、八氟环丁烷、六氟乙烷

根据使用APIMS分析仪在氩气和氮气中的测试结果，<1ppb的H₂O、CO₂、O₂和CO

根据使用微量氧气分析仪在三氟甲烷中的测试结果，<1ppb的O₂

根据使用微量水分分析仪和FTIR在三氟甲烷中的测试结果，<10ppb的H₂O

锗烷

根据使用APIMS分析仪在氩气中的测试结果，<1ppb的H₂O、CO₂和O₂

六氟化硫

根据在氩气和氮气中的测试结果，<1ppb的H₂O、CO₂、O₂和CO

含氧气体：二氧化碳、氧气和一氧化二氮

根据使用APIMS分析仪在氩气中的测试结果，<1ppb的H₂O和CO₂

含氯气体：三氯化硼、氯、三氯甲硅烷和二氯甲硅烷

根据使用APIMS分析仪在氩气中的测试结果，<1ppb的H₂O和CO₂

氯化氢

根据使用CRDS在氯化氢中的测试结果，<15ppb的H₂O

根据使用APIMS分析仪在氩气中的测试结果，<1ppb的H₂O

溴化氢

根据使用CRDS在溴化氢中的测试结果，<50ppb的H₂O

根据使用APIMS分析仪在氩气中的测试结果，<1ppb的H₂O

光刻法清洁干燥空气

根据使用APIMS分析仪在氩气中的测试结果，<1ppb的H₂O
根据使用APIMS分析仪在氩气中的测试结果，<300ppt的C₄H₈
根据使用离子色谱仪在氮气中的测试结果，<10ppt的SO₂
根据使用离子色谱仪在氮气中的测试结果，<15ppt的NH₃
根据使用APIMS分析仪在氩气中的测试结果和基线减法，<1ppt的HMDSO

部件编号规范

特定气体

出气杂质规格

GLP6INPVMM4

惰性气体：氮、氩、氦、氙、氪和氖

H₂O、CO₂、O₂和CO<1ppb

GLP6SIPVMM4

可燃气体：硅烷、氢、甲烷、乙烷、环丙烷、丙烷、二甲醚、乙烯、丙烯、羰基硫和一氧化碳

<1ppb的H₂O、CO₂、O₂、CO
<1ppb的H₂O、O₂、CO₂和Fe(CO)₅，<10ppb的Ni(CO)₄

GLP6FCPVMM4

氟甲烷、二氟甲烷、三氟甲烷、四氟乙烷、五氟乙烷、七氟丙烷、四氟化碳、全氟丙烷、八氟环丁烷、六氟乙烷

<1ppb的H₂O、CO₂、O₂

GLP6GEH4PVMM4

锗烷

<1ppb的H₂O、CO₂、O₂、CO

GLP6SF6PVMM4

六氟化硫

<1ppb的H₂O、CO₂、O₂、CO

GLP6OXPVMM4

含氧气体：二氧化碳、氧气和一氧化二氮

<10ppb的H₂O

GLP6CLXPVMM4

含氯气体：三氯化硼、氯、三氯甲硅烷和二氯甲硅烷

<100ppb的H₂O

GLP6HCLPVMM4

氯化氢

<15ppb的H₂O

GLP6HBRPVMM4

溴化氢

<50ppb的H₂O

GLP6CDAPVMM4

光刻法清洁干燥空气

<1Ppb的水、
<300ppb的有机物（例如C4）、
<10ppt的酸性气体（例如SO₂）
<15ppt的碱性气体（例如NH₃）
<1ppt的难熔化合物（例如HMDSO）